[发明专利]可锁止的晶圆片放置架

权利要求书

1.一种可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，包括：放置架本体、第一机械抽头、第一联锁机构、第一防刮伤治具、第二机械抽头、第二联锁机构和第二防刮伤治具；

所述放置架本体包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片；

所述第一侧板上设有竖直的第一滑槽，所述第二侧板上设有竖直的第二滑槽，所述第一滑槽与所述第二滑槽呈镜像对称设置；

所述第一机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第一进入槽；

所述第一机械抽头可移动的设置在所述第一滑槽内，且所述第一机械抽头的顶部设有第一挡条；

所述第一联锁机构设置在所述第一侧板的上部，包括：第一左固定块、第一右固定块、第一转轴和第一活动块；

所述第一左固定块和所述第一右固定块分别设置在所述第一机械抽头的左右两侧；

所述第一转轴的一端与所述第一左固定块连接，所述第一转轴的另一端与所述第一右固定块连接；

所述第一活动块可转动的设置在所述第一转轴上，且所述第一活动块与所述第一挡条相抵持；

所述第一防刮伤治具上设有多组第一校准槽，所述第一校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度；

所述多组第一校准槽与所述多组放置槽对应，且第一校准槽的底面与对应的放置槽的底面位于同一平面，所述第一校准槽用于供晶圆片插入；

所述第一防刮伤治具设有第一连接部，所述第一连接部设有与所述第一侧板的顶端适配的第一U型槽，且所述第一连接部上设有第一矩形孔；

所述第一防刮伤治具用于放置在所述第一侧板上，所述第一U型槽用于与所述第一侧板的顶端卡接，所述第一矩形孔用于供所述第一机械抽头穿过，且所述第一防刮伤治具放置时，所述第一连接部抵持所述第一活动块，使所述第一活动块转动，所述第一活动块转动时带动所述第一机械抽头上升；

所述第一机械抽头在下降时，所述第一进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第一机械抽头在上升时，所述第一进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放；

所述第二机械抽头、所述第二联锁机构和所述第二防刮伤治具设置在所述第二侧板上，分别与所述第一机械抽头、所述第一联锁机构和所述第一防刮伤治具呈镜像对称设置。

2.根据权利要求1所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一转轴为丝杆，所述第一转轴的两端呈台阶形；

所述第一活动块设有内螺纹，所述第一活动块啮合在所述丝杆上，使所述第一活动块与所述第一转轴可转动连接；

所述第一左固定块和所述第一右固定块设有安装孔，分别供所述第一转轴的左右两端插入。

3.根据权利要求1所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一左固定块和所述第一右固定块上设有第一固定孔；

所述第一侧板上设有第一螺纹孔，使所述第一左固定块和所述第一右固定块通过固定螺栓与所述第一侧板连接。

4.根据权利要求1所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一校准槽的前端呈向外扩张的喇叭状。

5.根据权利要求1所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一防刮伤治具和所述第二防刮伤治具的材质为特氟龙。