[发明专利]有机发光二极管显示器及其制造方法在审
申请号: | 201910277863.6 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN110112328A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 刘华龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机发光二极管显示器 阳极 发光区 亲水层 杂质颗粒 光阻 残留 图案化光阻层 有机功能膜层 有机发光层 有机功能层 显示效果 不均匀 墨滴 附着 铺展 去除 制造 发光 开口 申请 | ||
1.一种有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括如下步骤:
提供一基板,所述基板具有发光区;
于所述基板上形成阳极;
形成覆盖所述阳极和所述基板的亲水层;
形成覆盖所述亲水层的光阻层,所述光阻层经过图案化以于所述阳极上方定义出所述基板的所述发光区;
去除所述发光区的所述亲水层;
于所述发光区的所述阳极上形成墨滴,所述墨滴包括溶剂和溶解于所述溶剂中的有机功能材料;
蒸发所述墨滴中的所述溶剂以于所述发光区的所述阳极上形成有机功能层。
2.根据权利要求1所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述亲水层的制备材料为亲水性二氧化硅、氧化铟锡、亲水性聚氨酯、亲水性丙烯酸酯以及亲水性环氧树脂中的至少一种。
3.根据权利要求1或2所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述亲水层的制备材料为亲水性二氧化硅。
4.根据权利要求1所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述去除所述发光区的所述亲水层包括如下步骤:采用干法刻蚀或湿法刻蚀以去除所述发光区的所述亲水层。
5.根据权利要求1所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述亲水层的厚度为2纳米-10微米。
6.根据权利要求1所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述于所述发光区的所述阳极上形成墨滴包括如下步骤:通过喷涂于所述发光区的所述阳极上形成墨滴。
7.根据权利要求1所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述有机功能材料为空穴传输材料、空穴注入材料或有机发光材料中的任意一种。
8.根据权利要求1或7所述的有机发光二极管显示器的制造方法,其特征在于,所述有机功能层为有机发光层。
9.一种有机发光二极管显示器,其特征在于,所述有机发光二极管显示器包括:
一基板,所述基板具有发光区;
一阳极,所述阳极位于所述基板上;
一亲水层,所述亲水层覆盖所述基板以及所述发光区外的所述阳极;
一图案化光阻层,所述图案化光阻层覆盖所述亲水层且在所述阳极上方具有开口以定义所述基板的所述发光区,
一有机功能层,所述有机功能层位于所述发光区的所述阳极上,所述有机功能层是通过于所述阳极和所述基板上形成亲水层,于所述亲水层上形成光阻层,图案化所述光阻层使所述阳极上方形成所述开口,去除所述开口内的所述亲水层,于所述开口内的所述阳极上形成墨滴并蒸发所述墨滴中的溶剂形成,所述墨滴包括所述溶剂和溶解于所述溶剂中的有机功能材料。
10.根据权利要求9所述的有机发光二极管显示器,其特征在于,所述有机功能层为有机发光层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择