[发明专利]有机发光二极管显示器及其制造方法在审
申请号: | 201910277863.6 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN110112328A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 刘华龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 有机发光二极管显示器 阳极 发光区 亲水层 杂质颗粒 光阻 残留 图案化光阻层 有机功能膜层 有机发光层 有机功能层 显示效果 不均匀 墨滴 附着 铺展 去除 制造 发光 开口 申请 | ||
本申请提供一种有机发光二极管显示器及其制造方法,通过在阳极上形成亲水层,再形成图案化光阻层以在阳极上方形成开口而定义发光区,去除发光区的亲水层以除去附着在亲水层上的残留光阻以及杂质颗粒,避免残留光阻以及杂质颗粒导致墨滴在发光区的阳极上铺展不均匀而使得干燥后的有机功能膜层不能完全覆盖发光区的阳极,从而影响有机发光二极管显示器的显示效果。有机功能层为有机发光层时,能避免有机发光二极管显示器在显示时出现发光不均的问题。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种有机发光二极管显示器及其制造方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)以其良好的自发光特性、高对比度以及快速响应等优势,在显示领域、照明领域以及智能穿戴领域等都得到了广泛的应用。
目前,制备OLED器件的主要方法有蒸镀法和喷墨打印法两种。利用全蒸镀方法以制备大中小尺寸的OLED显示器件相对于喷墨打印而言已相当成熟,其已经用于商业化生产。然而,全蒸镀方法由于材料利用率低导致其难以用于制备高分辨率的OLED器件。喷墨打印技术制备OLED器件的材料利用率高达90%以上且其制备OLED器件的成本较全蒸镀技术低17%左右。喷墨打印过程中无需掩模板使其可用于高分辨率显示器件的制备,故采用喷墨打印以制备出大尺寸、高分辨率的OLED器件是显示领域的研究热点。
在氧化铟锡(Indium Tin Oxide,ITO)图形化后制备图案化光阻(bank)以定义发光区。图案化光阻是通过曝光光阻层的部分区域并用显影液显影以于光阻层上形成开口,该开口位于阳极上方以定义发光区。由于曝光光阻层并显影后,ITO图形上会附着残留光阻以及微米级的异物颗粒,通过喷墨打印以在ITO图形表面形成有机功能层的过程中,如图1所示,ITO表面由于有残留光阻而导致墨滴11不能均匀铺展在发光区的ITO图案10上,且个别像素(pixel)内有微米级的异物颗粒。干燥后的有机功能膜层出现残留光阻处和异物处无功能膜覆盖会导致OLED显示器件显示异常。
因此,有必要提出一种技术方案以解决由于ITO图案上有残留光阻以及异物导致形成于ITO图案上的墨滴不能均匀铺展而引起OLED显示器件显示异常的问题。
发明内容
鉴于此,本申请的目的在于提供一种有机发光二极管显示器的制造方法,以解决ITO图案上有残留光阻以及异物导致形成于ITO图案上的墨滴不能均匀铺展而引起OLED显示器件显示异常的问题。
为实现上述目的,技术方案如下。
一种有机发光二极管显示器的制造方法,所述制造方法包括如下步骤:
提供一基板,所述基板具有发光区;
于所述基板上形成阳极;
形成覆盖所述阳极和所述基板的亲水层;
形成覆盖所述亲水层的光阻层,所述光阻层经过图案化后以于所述阳极上方定义出所述基板的所述发光区;
去除所述发光区的所述亲水层;
于所述发光区的所述阳极上形成墨滴,所述墨滴包括溶剂和溶解于所述溶剂中的有机功能材料;
蒸发所述墨滴中的所述溶剂以于所述发光区的所述阳极上形成有机功能层。
在上述有机发光二极管显示器的制造方法中,所述亲水层的制备材料为亲水性二氧化硅、氧化铟锡、亲水性聚氨酯、亲水性丙烯酸酯以及亲水性环氧树脂中的任意一种。
在上述有机发光二极管显示器的制造方法中,所述亲水层的制备材料为亲水性二氧化硅。
在上述有机发光二极管显示器的制造方法中,所述去除所述发光区的所述亲水层包括如下步骤:采用干法刻蚀或湿法刻蚀以去除所述发光区的所述亲水层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司,未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910277863.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:有机发光二极管显示器及其制造方法
- 下一篇:一种锂离子电池及电池模组
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择