[发明专利]应用于基板的AOI检测方法、装置、存储介质及AOI检测设备

说明书

本发明提供了一种应用于基板的AOI检测方法、装置、存储介质及AOI检测设备，应用于AOI检测设备中，所述方法包括以下步骤：获取大基板上的多个小阵列基板的分布信息，所述分布信息包括每一所述小阵列基板的尺寸信息以及位置信息；根据所述尺寸信息查询数据库以获取每一所述小阵列基板对应的目标检测精度值；根据所述多个小阵列基板的位置信息控制所述AOI检测设备的检测头依次检测所述多个小阵列基板，其中，所述检测设备在检测任一所述小阵列基板时采用与所述小阵列基板对应的目标检测精度值。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种应用于基板的AOI检测方法、装置、存储介质及AOI检测设备。

背景技术

COA(Color Filter Array)彩色滤光片制程技术，是将彩膜基板制作在阵列基板上的技术。彩色滤光片制程技术，需要对阵列基板进行检修，对阵列基板的检修为了提高良率，必须依照B300AOI检出不良数据进行修复，再返回阵列基板制程。其中AOI检测为阵列基板制程判定是否合格标准，产品修补完成后依照规则再判定是否为良品。AOI检测精度直接影响缺陷的检出，后续直接影响产品良率。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

本发明提供一种应用于基板的AOI检测方法、装置、存储介质及AOI检测设备，可以检测准确度，提高产品良率。

本发明提供了一种应用于基板的AOI检测方法，应用于AOI检测设备中，所述方法包括以下步骤：

获取大基板上的多个小阵列基板的分布信息，所述分布信息包括每一所述小阵列基板的尺寸信息以及位置信息；

根据所述尺寸信息查询数据库以获取每一所述小阵列基板对应的目标检测精度值；

根据所述多个小阵列基板的位置信息控制所述AOI检测设备的检测头依次检测所述多个小阵列基板，其中，所述检测设备在检测任一所述小阵列基板时采用与所述小阵列基板对应的目标检测精度值。

在本发明所述的应用于基板的AOI检测方法中，所述根据所述多个小阵列基板的位置信息控制所述AOI检测设备的检测头依次检测所述多个小阵列基板的步骤包括：

根据每一所述小阵列基板的尺寸信息将所述多个小阵列基板分成多个集合，其中，每一集合中的小阵列基板的尺寸相同；

按照预设顺序采用对应的目标检测精度值依次对每一所述集合中的小阵列基板进行AOI检测。

在本发明所述的应用于基板的AOI检测方法中，所述按照预设顺序采用对应的目标检测精度值依次对每一所述集合中的小阵列基板进行AOI检测的步骤中：

进行OAI检测时的顺序为先检测按照小阵列基板的尺寸从小到大的顺序依次检测。

在本发明所述的应用于基板的AOI检测方法中，所述按照预设顺序采用对应的目标检测精度值依次对每一所述集合中的小阵列基板进行AOI检测的步骤中：采用调节所述检测头距离所述大基板的距离值的方式来调节不同的检测精度值。

在本发明所述的应用于基板的AOI检测方法中，所述根据所述尺寸信息查询数据库以获取每一所述小阵列基板对应的目标检测精度值的步骤之后还包括：

获取所述检测头在各个对应目标检测精度值下与所述大基板的距离值。

在本发明所述的应用于基板的AOI检测方法中，所述根据所述多个小阵列基板的位置信息控制所述AOI检测设备的检测头依次检测所述多个小阵列基板的步骤包括：

按照所述多个小阵列基板的排布顺序，将所述检测头依次调节至对应小阵列基板的上方进行AOI检测，且每一次检测时，根据检测对象的尺寸信息将所述检测头的检测精度调整至对应的目标检测精度值。

一种应用于基板的AOI检测装置，包括：