[发明专利]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于：

所述研磨装置具备：研磨机，其利用旋转的定盘来研磨工件；

形状测量部，其通过形成在所述定盘上的测量孔对所述工件的形状进行测量；

存储部，其存储由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；

显示部，其显示由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；以及

控制部，其对所述显示部显示的内容进行控制，

所述控制部生成第一绘图，并将所述第一绘图显示在所述显示部，所述第一绘图是将由所述形状测量部测量的作为当前研磨中的工件的研磨中工件的形状绘图按照时间序列进行排列而成的。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于：

所述存储部将研磨加工所述工件时的条件属性或者学习生成的条件属性与预测信息相关联并存储，所述预测信息包含所述工件的形状信息和对所述工件的形状信息进行运算处理所得到的工件形状模式中的至少一方，

所述控制部基于比较运算的结果，对所述研磨中工件的形状推移进行预测，并基于所述研磨中工件的形状推移的预测，实施所述研磨中工件的状态判定，所述比较运算是所述研磨中工件的预测信息的时间序列变化和与所述研磨中工件的条件属性匹配的条件属性相关联的预测信息的时间序列变化之间的比较运算。

3.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于：

所述控制部在根据所述研磨中工件的状态判定的结果，判定停止所述研磨中工件的研磨加工时，实施所述研磨中工件的研磨加工的停止和所述研磨中工件的研磨加工的停止判定的通知中的至少一方。

4.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于：

所述控制部在基于所述研磨中工件的形状推移的预测而判定所述研磨中工件不能成为所期望的工件状态时，在所述研磨中工件为二次容许状态时，实施所述研磨中工件的研磨加工的停止和所述研磨中工件的研磨加工的停止判定的通知中的至少一方。

5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于：

所述控制部针对所述研磨中工件的二次容许状态的出现而确定相关度高的条件属性，或者针对所述研磨中工件的二次容许状态的出现而按照相关度的高低顺序列举条件属性，并通知所确定或所列举的条件属性。

6.一种研磨装置，其特征在于：

所述研磨装置具备：研磨机，其利用旋转的定盘来研磨工件；

形状测量部，其通过形成在所述定盘上的测量孔对所述工件的形状进行测量；

存储部，其存储由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；

显示部，其显示由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；以及

控制部，其对所述显示部显示的内容进行控制，

所述控制部生成第一绘图和第二绘图，并将所述第一绘图和第二绘图同时显示在所述显示部，所述第一绘图是将由所述形状测量部测量的作为当前研磨中的工件的研磨中工件的形状绘图按照时间序列进行排列而成的，所述第二绘图是将在所述研磨中工件的研磨之前被研磨加工的工件的形状绘图按照时间序列进行排列而成的。

7.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于：

所述存储部将研磨加工所述工件时的条件属性或者学习生成的条件属性与所述工件的形状信息相关联并存储，

所述控制部基于与所述研磨中工件的条件属性匹配的条件属性相关联的工件的形状信息来生成所述第二绘图。

8.根据权利要求6或者7所述的研磨装置，其特征在于：

所述控制部基于工件形状模式生成所述第二绘图，所述工件形状模式是对所述存储部存储的所述工件的形状信息进行运算处理而获得的工件形状模式、或者是基于研磨加工所述工件时的条件属性与所述工件的形状信息之间的相关度的学习结果所生成的工件形状模式。