[发明专利]研磨装置

说明书

本发明提供一种研磨装置，其基于研磨中的工件的形状变化的推移，在已经成为所期望的工件形状的时刻或者成为所期望的工件形状的时刻能够停止工件的研磨加工。其具备：研磨机，其由旋转的下定盘及上定盘研磨工件；形状测量部，其通过形成在所述上定盘上的测量孔对所述工件的形状进行测量；存储部，其存储由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；显示部，其显示由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；控制部，其对所述显示部显示的内容进行控制，所述控制部生成第一绘图，并将所述第一绘图显示在所述显示部，所述第一绘图是将由所述形状测量部测量的作为当前研磨中的工件的研磨中工件的形状绘图按照时间序列排列。

技术领域

本发明涉及一种例如对硅晶片等工件的表面进行研磨的研磨装置。

背景技术

以往，已知有一种研磨装置，其具备上定盘、下定盘、太阳齿轮、内齿轮、以及游星轮板等，并对保持在游星轮板的硅晶片等工件的表面进行研磨(参照专利文献1)。该研磨装置具有测量装置，该测量装置通过形成在上定盘中的通孔实时测量被研磨工件的厚度，并且基于该测量装置的工件厚度的测量结果来判定研磨加工的停止时刻(时机)。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2015-47656号公报

发明内容

(发明所要解决的问题)

可是，以往的研磨装置中，基于工件厚度的测量结果来判定研磨加工的停止时刻。但是，很难从工件厚度的临时性的测定结果来预测在继续研磨加工的情况下的未来工件的形状变化的推移。因此，在继续研磨加工时不能把握工件形状是否接近所期望的形状，从而产生一个问题，即很难在成为所期望的工件形状的时刻停止工件的研磨。另外，与研磨加工相关的各种条件的差异不仅影响研磨结束之后的工件的形状，而且还影响研磨中的工件形状推移。然而，至今为止，伴随研磨加工的时间序列的工件形状变化的推移在很大程度上取决于使用者的技能，这阻碍了工艺改进的效率提高。

本发明着眼于上述问题做出，提供一种基于研磨中的工件的形状变化的推移，在已经成为所期望的工件形状的时刻或者成为所期望的工件形状的时刻能够停止工件的研磨加工的研磨装置为目的。

(用于解决问题的手段)

为了达到上述目的，本发明的研磨装置具备：研磨机，其由旋转的定盘研磨工件；形状测量部，其通过形成在所述定盘上的测量孔对所述工件的形状进行测量；存储部，其存储由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；显示部，其显示由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；控制部，其对所述显示部的显示的内容进行控制。

而且，所述控制部生成第一绘图，并将所述第一绘图显示在所述显示部，所述第一绘图是将由所述形状测量部测量的作为当前研磨中的工件的研磨中工件的形状绘图按照时间序列排列。

(发明的效果)

其结果是，基于研磨中的工件的形状变化的推移，在已经成为所期望的工件形状的时刻或者成为所期望的工件形状的时刻能够停止工件的研磨加工。

附图说明

图1是示意性地表示第一实施例的研磨装置的整体结构的说明图。

图2是表示第一实施例的太阳齿轮和内齿轮和游星轮板的位置关系的说明图。

图3A是表示在第一实施例的研磨装置中测量孔经过工件时的经过轨迹的说明图。

图3B是表示第一实施例的研磨装置中表示工件的截面形状的截面形状线的说明图。

图4是表示由第一实施例的研磨装置生成的第一绘图的说明图。

图5是表示由第一实施例的研磨装置生成的第二绘图的说明图。