[发明专利]成型设备和制造物品的方法

权利要求书

1.一种成型设备，其特征在于，该成型设备使用模具执行用于对基板的目标区域上的组合物成型的成型处理，所述成型设备包括：

保持单元，包括多个凹状部分，并且被配置为通过使所述多个凹状部分的压力为负压来保持所述基板；和

控制单元，被配置为控制所述成型处理，

其中，所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板的所述目标区域上的组合物上的处理，在用于按压所述模具的处理开始之后，通过增加所述多个凹状部分当中的在所述目标区域下方的第一凹状部分的压力以使所述第一凹状部分的压力为负压或零，使得所述保持单元以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，多个第一凹状部分在所述目标区域的下方，并且

所述控制单元通过增加所述多个第一凹状部分的压力以使所述多个第一凹状部分的压力为负压或零，使得所述保持单元以小于所述第一保持力的所述第二保持力保持所述基板。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个凹状部分具有圆形形状或环形形状。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制单元通过使所述多个凹状部分中的在所述目标区域下方的第一凹状部分的压力大于所述多个凹状部分中的不在所述目标区域下方的第二凹状部分的压力，使得所述保持单元以小于所述第一保持力的所述第二保持力保持所述基板。

5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制单元在用于按压所述模具的处理开始之后且在经由所述模具将按压力施加到所述基板上的组合物的时段期间，将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第一保持力切换到所述第二保持力。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制单元在完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中之后且在从所述基板上的组合物脱离所述模具之前，使得所述保持单元以大于所述第二保持力的第三保持力保持所述基板。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制单元在将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的同时，在完成将所述基板上的组合物填充到所述模具之后且在固化所述基板上的组合物之前，使得所述保持单元以大于所述第二保持力的第三保持力保持所述基板。

8.根据权利要求6所述的设备，其中，所述第三保持力小于所述第一保持力。

9.根据权利要求6所述的设备，其中所述第三保持力等于所述第一保持力。

10.根据权利要求1所述的设备，其中用于按压所述模具的处理包括第一时段和第二时段，在所述第一时段中，经由所述模具施加到所述基板上的组合物的按压力增加，在所述第二时段中，所述按压力减小，以及

所述控制单元在用于按压所述模具的处理从所述第一时段转变到所述第二时段的时刻，将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第一保持力切换到所述第二保持力。

11.根据权利要求10所述的设备，其中，在所述第二时段结束的时刻，所述控制单元将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第二保持力切换到大于所述第二保持力的第三保持力。

12.根据权利要求1所述的设备，还包括获取单元，所述获取单元被配置为获取所述基板上的组合物到所述模具中的填充状态，

其中，所述控制单元基于由所述获取单元获取的填充状态，将用于由所述保持单元保持所述基板的保持力从所述第一保持力切换到所述第二保持力。