[发明专利]成型设备和制造物品的方法

说明书

本公开涉及成型设备和制造物品的方法。本发明提供了一种成型设备，该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，该成型设备包括被配置为保持基板的保持单元以及被配置为控制成型处理的控制单元，其中，所述控制单元在基板由保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将模具压靠在基板上的组合物上的处理，使得保持单元在处理开始之后以小于第一保持力的第二保持力保持基板，并且维持由保持单元以第二保持力对基板的保持，直到完成将基板上的组合物填充到模具中。

技术领域

本发明涉及成型设备和制造物品的方法。

背景技术

如在日本专利公开No.2009-518207和日本专利公开No.2017-103399中所公开的，压印设备在其上已形成图案的模具和基板上的压印材料彼此接触的状态下固化压印材料，并从固化的压印材料中脱离模具，从而在基板上形成图案。日本专利公开No.2009-518207公开了一种技术，该技术在使模具与基板上的压印材料接触时使模具朝向基板变形为凸状形状。日本专利公开No.2017-103399公开了一种技术，该技术在使模具与基板上的压印材料接触时，通过控制施加到基板的背表面的压力(压力分布)来控制基板的表面形状。

在压印设备中，在用于保持(支撑)基板的基板保持表面上需要数μm或更小的平坦度和低粗糙度精度，以维持基板和模具之间的平衡。当基板保持表面的平坦度低时，在基板和基板保持表面之间产生空间，因此从模具到压印材料的按压力(pressing force)在该区域中不能充分传送。因此，在基板上形成的图案中产生缺陷(空隙)，导致产量降低。另一方面，当基板和基板保持表面之间的空间被设定为高真空状态以使得没有空间时，基板保持表面的粗糙度被转移到形成在基板上的图案，导致产量降低。

发明内容

本发明提供了一种有利于提高产量的成型设备。

根据本发明的第一方面，提供了一种成型设备，该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，所述成型设备包括被配置为保持基板的保持单元以及被配置为控制所述成型处理的控制单元，其中，所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理，使得所述保持单元在所述处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中为止。

根据本发明的第二方面，提供了一种制造物品的方法，包括使用成型设备在基板上形成图案；处理在所述形成时在其上形成图案的基板；以及从经处理的基板制造所述物品，其中，所述成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理，并且所述成型设备包括被配置为保持所述基板的保持单元以及被配置为控制所述成型处理的控制单元，并且所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时，开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理，使得所述保持单元在所述处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板，并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持，直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中为止。

参考附图，根据示例性实施例的以下描述，本发明的其它方面将变得清楚。

附图说明

图1是示意性地示出作为本发明的一个方面的压印设备的布置的视图。

图2是示意性地示出模具保持单元和模具保持单元的周边的布置的截面图。

图3是示意性地示出基板卡盘(substrate chuck)的布置的视图。

图4是示意性地示出模具的布置的视图。

图5A和图5B是示出基板卡盘的凹状部分与模具的图案部分之间的位置关系的视图。

图6A至图6G是用于解释模具整个表面压射(shot)区域的压印处理的视图。