[发明专利]一种除油剂、其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201910288950.1 申请日: 2019-04-11
公开(公告)号: CN109989069B 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 王溯;蒋闯 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C23G1/00 分类号: C23G1/00;C25D5/34
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 王卫彬;陈卓
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种除油剂,其特征在于,其包括下列质量分数的组分:10%-40%的砜类有机溶剂、3%-15%的有机胺、5%-18%的渗透剂、0.3%-4%的缓蚀剂、0.1%-1.5%的非离子型表面活性剂A、0.3%-2%的非离子型表面活性剂B、和水;

所述的砜类有机溶剂为二甲基亚砜;所述的非离子型表面活性剂A为N,N-二甲基十六烷基-N-氧化胺;所述的非离子型表面活性剂B为二正辛基亚砜。

2.如权利要求1所述的除油剂,其特征在于,所述的砜类有机溶剂的质量分数为15%-35%;

和/或,所述的有机胺的质量分数为5%-10%;

和/或,所述的渗透剂的质量分数为8%-15%;

和/或,所述的缓蚀剂的质量分数为0.5%-3.5%;

和/或,所述的非离子型表面活性剂A的质量分数为0.3%-1.2%;

和/或,所述的非离子型表面活性剂B的质量分数为0.5%-1.5%。

3.如权利要求2所述的除油剂,其特征在于,所述的砜类有机溶剂的质量分数为20%-30%;

和/或,所述的有机胺的质量分数为7%-9%;

和/或,所述的渗透剂的质量分数为10%-12%;

和/或,所述的缓蚀剂的质量分数为1%-3%;

和/或,所述的非离子型表面活性剂A的质量分数为0.5%-1%;

和/或,所述的非离子型表面活性剂B的质量分数为0.7%-1.2%。

4.如权利要求1所述的除油剂,其特征在于,

所述的有机胺为醇胺类化合物;

和/或,所述的渗透剂为醚类化合物;

和/或,所述的缓蚀剂为苯酚类化合物、一元羧酸类化合物、二元羧酸类化合物、三元羧酸类化合物、四元羧酸类化合物、三氮唑类化合物、氨基酸、酮肟类化合物、内酯类化合物、酰胺类化合物和酸酐类化合物中的一种或多种;

和/或,所述的水为纯水。

5.如权利要求4所述的除油剂,其特征在于,所述的水为去离子水、蒸馏水和超纯水中的一种或多种。

6.如权利要求4所述的除油剂,其特征在于,所述的醇胺类化合物为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺和N-甲基二乙醇胺中的一种或多种;

和/或,所述的醚类化合物为乙二醇单烷基醚、二乙二醇单烷基醚、丙二醇单烷基醚、二丙二醇单烷基醚和三丙二醇单烷基醚中的一种或多种;

和/或,所述的苯酚类化合物为邻苯二酚和/或邻苯三酚;

和/或,所述的一元羧酸类化合物为甲酸、乙酸、丙酸、丙烯酸、葡萄糖酸、甘油酸、乙醇酸、乙醛酸和乳酸中的一种或多种;

和/或,所述的二元羧酸类化合物为草酸、苹果酸、酒石酸、琥珀酸、马来酸、丙二酸、戊二酸、己二酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、亚氨基二乙酸和N-羟乙基亚胺二乙酸中的一种或多种;

和/或,所述的三元羧酸类化合物为柠檬酸、偏苯三甲酸、均苯三甲酸和次氮基三乙酸中的一种或多种;

和/或,所述的四元羧酸类化合物为乙二胺四乙酸和/或反式-1,2-环己二胺四乙酸;

和/或,所述的三氮唑类化合物为3-氨基-1,2,4-三氮唑、苯并三氮唑和甲基苯并三氮唑中的一种或多种;

和/或,所述的氨基酸为甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、精氨酸、天冬氨酸、谷氨酸和赖氨酸中的一种或多种;

和/或,所述的酮肟类化合物为丙酮肟;

和/或,所述的内酯类化合物为抗坏血酸;

和/或,所述的酰胺类化合物为天冬酰胺;

和/或,所述的酸酐类化合物为马来酸酐。

7.如权利要求6所述的除油剂,其特征在于,所述的醚类化合物中,所述的乙二醇单烷基醚为乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇苯醚和乙二醇单丁醚中的一种或多种。

8.如权利要求6所述的除油剂,其特征在于,所述的醚类化合物中,所述的二乙二醇单烷基醚为二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚和二乙二醇丁醚中的一种或多种。

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