[发明专利]具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法和换热器有效

专利信息
申请号: 201910296902.7 申请日: 2019-04-12
公开(公告)号: CN110323140B 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 周伟;袁丁;褚旭阳;曾湘衡 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/367
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;张迪
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 具有 褶皱 通道 换热器 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,用于半导体器件的散热,其特征在于:采用多刀铣削-冲压成形方法获得:首先通过多齿锯片刀具加工出带有阵列引流微斜槽结构的斜微槽引流板,再通过冲压成形获得褶皱状的微通道换热器芯体;所述冲压具体是指:将上模具、所述斜微槽引流板、下模具按照从上到下的顺序放置,在上模具上施加均匀的冲压力F,所述斜微槽引流板在冲压力F的作用下,形成褶皱状的微通道换热器芯体;冲压深度大于所述斜微槽引流板的厚度;

所述褶皱的排列方向与微斜槽的延伸方向不同。

2.根据权利要求1所述的一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,其特征在于:所述微斜槽结构的横截面形状包括矩形、V形、U形、半圆形槽。

3.根据权利要求1所述的一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,其特征在于:所述微通道换热器芯体整体的形状包括波纹状、凹槽状。

4.根据权利要求1所述的一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,其特征在于:冲压成形的角度在30°-90°之间。

5.根据权利要求1所述的一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,其特征在于:冲压深度与冲压宽度的比值在0-10之间。

6.根据权利要求1所述的一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,其特征在于:所述微斜槽的高度与冲压深度的比值在0.01~0.5之间,微斜槽的高度与冲压宽度在0.01~0.2之间。

7.根据权利要求1所述的一种具有微槽-褶皱的微通道换热器芯体的制造方法,其特征在于:所述微通道换热器芯体的来流攻角在0°-90°之间。

8.一种换热器,其特征在于包括盖板、基板和如权利要求1-7中任一项所述微通道换热器芯体;所述微通道换热器芯体位于盖板和基板之间。

9.根据权利要求8所述的一种换热器,其特征在于:所述盖板和基板与所述微斜槽所成夹角在30°到170°之间。

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