[发明专利]一种ESD晶体管结构有效
申请号: | 201910299488.5 | 申请日: | 2019-04-15 |
公开(公告)号: | CN109950216B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 孙磊;许海财;陈伦森 | 申请(专利权)人: | 南京棠邑科创服务有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/60;C08L67/02;C08L1/02;C08K9/04;C08K7/00;C08K3/38;C08K7/04 |
代理公司: | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 乔浩刚 |
地址: | 211500 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 esd 晶体管 结构 | ||
1.一种ESD晶体管结构,其特征在于,包括ESD晶体管和承载结构,ESD晶体管嵌于承载结构中,所述承载结构包括承载槽、密封端盖、接线电极和导热板,所述承载槽为U型横截面的槽状结构,密封端盖嵌于承载槽上端面并与承载槽构成密闭腔体,承载槽设若干凸台,凸台环绕承载槽轴线均匀布设,承载槽内部自上而下分为定位腔和散热腔,其中ESD晶体管嵌于定位腔内并通过凸台定位,ESD晶体管对应的密封端盖上均匀布设有透孔,接线电极嵌于透孔内,接线电极下端面与ESD晶体管接线端子电气连接,所述导热板嵌于散热腔内,散热腔内导热板对应的承载槽底部设有散热口,散热腔内导热板下端面嵌于散热口内,并与承载槽下端面平齐,所述导热板由导热塑料制成,所述导热塑料包括高分子塑料基体、导热填料和导热助剂,所述高分子塑料基体为PBT树脂,所述导热填料为氮化硼纳米片,所述导热助剂为纳米纤维素纤维和氮化铝纳米线,所述氮化硼纳米片为表面烷基功能化修饰的氮化硼纳米片;所述导热塑料中高分子塑料基体、导热填料和导热助剂的质量比例为3-8:1:1-2;所述导热助剂中纳米纤维素纤维和氮化铝纳米线的质量比例为2-5:1;所述PBT树脂为用热塑性弹性体苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物、PC、PET、ABS或PP进行共混改性的PBT树脂,共混比例在10%以下;
所述导热塑料的制备包括以下步骤:
S1、氮化硼纳米片的表面烷基功能化
称取0.1g的h-BN,加入N-甲基吡咯烷酮50ml,在冰浴条件下超声粉碎剥离处理,超声功率270W,空占比为1s:1s,处理时间24h,离心干燥制得h-BN纳米片;在反应容器中加入新蒸四氢呋喃200ml,并苯7.2g,钠1.25g,在氮气保护气氛下搅拌至溶解完全,得到墨绿色溶液,加入氮化硼纳米片135mg,在氮气保护气氛下磁力搅拌30h,使其富电子化,加入7.0ml的溴代十二烷,在氮气保护气氛下磁力搅拌36h,通入氧气终止反应,将反应体系离心,沉淀分别以四氢呋喃、无水乙醇、去离子水洗涤后,100℃真空干燥48h,制得表面烷基功能化的六方氮化硼纳米片;
S2、氮化铝纳米线制备
将铝块作为阳极置于石墨坩埚,通高纯氮气为反应原料,以直径为8mm,长30cm的钨杆为阴极,开始前调整阳极与钨杆间的距离,密封腔体后,以氩气对反应室洗气两次,再次充入氩气,气压10kPa,驱动系统调节阴阳两极的距离,使其接触起弧,放电电流100A,放电电压20V,放电时间15min,结束后静置1h,使反应室充分冷却,通入氩气钝化5h,收集冷凝壁上的白色氮化铝纳米线;
S3、氮化铝纳米线与纳米纤维素纤维混合
氮化铝纳米线与纳米纤维素纤维以重量比1:4-8比例混合,超声分散在水中,离心干燥,制得导热助剂;
S4、塑料基体、填料和助剂混合成型
PBT树脂为用热塑性弹性体共混,加入表面烷基功能化的六方氮化硼纳米片和导热助剂,搅拌共混,模压成型。
2.根据权利要求1所述的一种ESD晶体管结构,其特征在于,所述ESD晶体管上端面与密封端盖下端面通过绝缘垫块相互连接。
3.根据权利要求1所述的一种ESD晶体管结构,其特征在于,所述散热腔对应的承载槽侧表面均匀布设有导流孔。
4.根据权利要求1所述的一种ESD晶体管结构,其特征在于,所述氮化铝纳米线长度10μm,直径40-50nm。
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