[发明专利]X射线分析设备

权利要求书

1.一种X射线分析设备（2），包括：

样本台（8），其用于支撑样本（6）；

测角仪，其具有旋转轴；

X射线检测器（14），其被布置成围绕所述测角仪的所述旋转轴是可旋转的，其中，所述X射线检测器（14）被布置成接收来自所述样本的沿着X射线束路径引导的X射线束；

第一准直器（18）、第二准直器（20）和第三准直器（26），其中，所述第一准直器、所述第二准直器和所述第三准直器中的每一个具有：

第一配置，相应准直器在第一配置中布置在所述X射线束路径中，以及

第二配置，相应准直器在第二配置中布置在所述X射线束路径之外；

第一致动器装置（21），其被配置为通过在与所述X射线束路径相交的横向方向上移动所述第一准直器（18）来使所述第一准直器（18）在其第一配置和其第二配置之间移动，并且通过在与所述X射线束路径相交的横向方向上移动所述第二准直器（20）来使所述第二准直器（20）在其第一配置和其第二配置之间移动；

第二致动器装置（29），其被布置成通过在与所述X射线束路径相交的横向方向上移动所述第三准直器（26）来使所述第三准直器（26）在其第一配置和其第二配置之间移动；以及

控制器（17），其被配置成：

控制所述第一致动器装置（21）以使所述第一准直器（18）在其第一配置和其第二配置之间移动，以及使所述第二准直器（20）在其第一配置和其第二配置之间移动；以及

控制所述第二致动器装置（29）以使所述第三准直器（26）在其第一配置和其第二配置之间移动，

其中：

所述第一准直器（18）和所述第二准直器（20）都是用于限制所述X射线束的轴向发散度的Soller狭缝准直器，其中，所述第一准直器（18）的角发散度小于所述第二准直器（20）的角发散度，以及所述第三准直器（26）是平行板准直器；或者

所述第一准直器（18）和所述第二准直器（20）都是用于限制所述X射线束的平向发散度的平行板准直器，其中，所述第一准直器（18）的角发散度小于所述第二准直器（20）的角发散度，以及所述第三准直器（26）是Soller狭缝准直器。

2.根据权利要求1所述的X射线分析设备（2），其中，所述第一致动器装置（21）被配置成通过在基本上平行于所述旋转轴的方向上移动所述第一准直器（18）来使所述第一准直器（18）在其第一配置和其第二配置之间移动。

3.根据权利要求1或2所述的X射线分析设备（2），其中，所述第一准直器（18）刚性地耦合到所述第二准直器（20）。

4.根据权利要求1或2所述的X射线分析设备（2），其中，所述第三准直器（26）布置在所述第一准直器（18）和所述样本（6）之间，或其中，所述第三准直器（26）布置在所述第一准直器和所述X射线检测器（14）之间。

5.根据权利要求1或2所述的X射线分析设备（2），还包括布置在所述第一准直器（18）和所述样本（6）之间的第四准直器（28），所述第四准直器（28）具有第一配置和第二配置，所述第四准直器（28）在第一配置中布置在所述X射线束路径中，所述第四准直器（28）在第二配置中布置在所述X射线束路径之外，其中，所述第二致动器装置（29）被配置为通过在与所述X射线束路径相交的所述横向方向上移动所述第四准直器（28）来使所述第四准直器（28）在其第一配置和其第二配置之间移动；以及

所述控制器（17）被配置成控制所述第二致动器装置（29）以使所述第四准直器（28）在其第一配置和其第二配置之间移动。

6.根据权利要求5所述的X射线分析设备（2），其中，所述第三准直器（26）和所述第四准直器（28）布置在所述第一准直器（18）和所述样本（6）之间。