[发明专利]X射线分析设备

说明书

本公开涉及但不限于X射线分析设备。所述设备包括用于支撑样本的样本台、具有旋转轴的测角仪和布置成绕测角仪的旋转轴可旋转的X射线检测器，其中X射线检测器布置成接收来自样本的沿着X射线束路径引导的X射线。X射线分析设备还包括均具有第一和第二配置的第一、第二和第三准直器。准直器在其第一配置中布置在X射线束路径中。准直器在其第二配置中布置在X射线束路径之外。第一致动器装置配置成通过在与X射线束路径相交的横向方向移动第一和第二准直器来在第一和第二配置之间移动第一和第二准直器。第二致动器装置配置成使第三准直器在其第一和第二配置之间移动。控制器配置成控制第一致动器装置以使第一准直器在第一和第二配置之间移动。

发明领域

本发明涉及一种X射线分析设备和用于使用X射线分析设备的方法。更具体地，本发明涉及一种用于在多种应用中使用的X射线分析设备。

发明背景

X射线分析是用于表征材料样本的一种方法。一些X射线分析方法是X射线衍射方法，例如布拉格布伦塔诺方法(Bragg Brentano method)、掠入射X射线衍射(GrazingIncidence X-ray Diffraction，GIXRD)和X射线微衍射。其他X射线分析方法包括小角度X射线散射(SAXS)、掠入射小角度X射线散射(Grazing Incidence Small Angle X-rayScattering，GISAXS)和X射线反射测量法(X-ray Reflectometry)。

通常，通过沿着入射X射线束路径将X射线从X射线源引导到样本上来执行X射线测量。X射线被样本散射或衍射。X射线检测器检测散射或衍射的X射线中的至少一些。

X射线光学器件(例如发散狭缝、抗散射狭缝和准直器)可以设置在入射和/或衍射/散射束侧上。

此外，常常对一批样本执行X射线测量。在该批次中的不同样本可能具有(在材料、形状和/或尺寸方面的)不同的性质。因此，最佳X射线分析设备在样本之间可以不同。

通常，为了使用X射线分析设备来使用不同的X射线分析方法执行不同的测量，用户必须重新配置X射线分析设备。这需要专业知识。此外，重新配置X射线装备是不方便和耗时的。

需要提供一种能够针对多个不同的应用提供高质量测量的X射线分析设备。

发明概述

根据本发明的一个方面，提供了一种X射线分析设备，其包括：

样本台，其用于支撑样本；

测角仪，其具有旋转轴；

X射线检测器，其被布置成绕测角仪的旋转轴是可旋转的，其中X射线检测器被布置成接收来自样本的沿着X射线束路径引导的X射线；

第一准直器、第二准直器和第三准直器，其中第一准直器、第二准直器和第三准直器中的每一个都具有：

第一配置，在该第一配置中准直器布置在X射线束路径中，以及

第二配置，在该第二配置中准直器布置在X射线束路径之外；

第一致动器装置，其被配置为通过在与X射线束路径相交(intersect)的横向方向上移动第一准直器来使第一准直器在第一配置和第二配置之间移动，并且通过在与X射线束路径相交的横向方向上移动第二准直器来使第二准直器在第一配置和第二配置之间移动；

第二致动器装置，其被布置成通过在与X射线束路径相交的横向方向上移动第三准直器来使第三准直器在第一配置和第二配置之间移动；以及

控制器，其被配置成：

控制第一致动器装置以使第一准直器在第一配置和第二配置之间移动以及使第二准直器在第一配置和第二配置之间移动；以及