[发明专利]一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法

说明书

本发明公开一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法，包括：⑴对P型硅制绒；⑵在正面上形成N型薄膜；⑶在N型薄膜上对应正银电极图形的区域涂蜡，烘干；⑷去除P型硅上未涂蜡区域的N型薄膜；⑸扩散磷源形成N型硅；⑹去除蜡和在扩散过程中形成的磷硅玻璃和周边PN结，对硅片背面进行刻蚀；⑺退火；⑻沉积正面钝化膜和背面钝化膜；⑼在背面上激光开槽贯通背面钝化膜；⑽印刷背银电极浆料并烘干；⑾背面印刷铝浆并烘干；⑿在N型薄膜上印刷正银电极浆料并烘干；⒀高温烧结；⒁抗LID退火。本发明正面钝化膜的钝化作用和N型薄膜的场钝化作用可以降低少子复合速率，增强钝化效果；且N型薄膜可降低接触电阻，提高电池的光电转换效率。

技术领域

本发明涉及一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法。

背景技术

晶硅太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射能，利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件。当太阳光照射在半导体P-N结上时，会形成新的空穴-电子对，在P-N结电场的作用下，空穴由N区流向P区，电子由P区流向N区，接通电路后形成电流。

PERC太阳能电池一般采用常规的正面钝化技术，在硅片的正面使用PECVD方式沉积一层氮化硅，以降低少子在前表面的复合速率，提升晶硅太阳能电池的开路电压和短路电流，从而提升晶硅太阳电池的光电转换效率。

但是，随着当前对晶硅太阳能电池光电转换效率的要求越来越高，如何进一步提高PERC太阳能电池的光电转换效率是目前业界亟待解决的技术难题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够提升电池的光电转换效率、成本低、工艺简单的选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法。

本发明的目的通过如下的技术方案来实现：一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

⑴对P型硅制绒；

⑵在由步骤⑴所得产品的正面上形成N型薄膜；

⑶在N型薄膜上对应正银电极图形的区域涂蜡，再烘干；

⑷去除P型硅上未涂蜡区域的N型薄膜；

⑸在由步骤⑷所得产品的正面上扩散磷源形成N型硅；

⑹去除蜡和在扩散过程中形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对硅片背面进行刻蚀；

⑺对由步骤⑹所得产品进行退火；

⑻在由步骤⑺所得产品的正面和背面上分别沉积正面钝化膜和背面钝化膜；

⑼在由步骤⑻所得产品的背面上激光开槽贯通背面钝化膜，使P型硅露于开槽中；

⑽在由步骤⑼所得产品的背面印刷背银电极浆料并烘干；

⑾在由步骤⑽所得产品的背面印刷铝浆并烘干；

⑿在由步骤⑾所得产品正面的N型薄膜上印刷正银电极浆料并烘干；

⒀对由步骤⑿所得产品进行高温烧结，形成背银电极、全铝背场或铝栅线和正银电极，全铝背场或铝栅线通过开槽与P型硅相连；

⒁对由步骤⒀所得产品进行抗LID退火。

本发明在硅片上对应正银电极的区域设置N型薄膜，N型薄膜是指重掺杂磷源或其它源的薄膜，正面钝化膜的钝化作用和N型薄膜的场钝化作用可以极大地降低少子复合速率，增强钝化效果；同时，N型薄膜对于多子来说具有良好的传导性，可降低接触电阻，最终提高电池的光电转换效率。本发明结构简单，制备工艺简单，设备投入成本低，而且与现有生产线兼容性好，对现有生产线进行简单改造后即可使用，因此，适于广泛推广和适用。