[发明专利]一种表面钝化处理的CdTe纳米晶薄膜及其表面钝化处理方法与应用有效
申请号: | 201910307074.2 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN110098331B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 覃东欢;郭秀珍;陈丙昌;容志滔 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 何淑珍;江裕强 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 钝化 处理 cdte 纳米 薄膜 及其 方法 应用 | ||
本发明公开了一种表面钝化处理的CdTe纳米晶薄膜及其表面钝化处理方法与应用。所述方法包括:在CdTe纳米晶薄膜上沉积螯合剂溶液和涂覆CdCl2溶液,然后进行热处理,得到表面钝化处理的CdTe纳米晶薄膜。本发明提供的处理方法,通过螯合剂分子与金属离子的强结合作用,将金属离子包合到螯合剂内部;然后经过热处理,CdTe重结晶过程中会钝化纳米晶薄膜的缺陷空位等载流子复合中心,从而达到钝化CdTe纳米晶薄膜的活性、降低载流子的复合速度及提升器件的短路电流的目的。本发明提供的表面钝化处理的CdTe纳米晶薄膜能够应用于组装具有倒装结构的CdTe纳米晶太阳能电池中。
技术领域
本发明属于光电器件领域,具体涉及一种表面钝化处理的CdTe纳米晶薄膜及其表面钝化处理方法与应用。
背景技术
溶液法处理的CdTe纳米晶太阳能电池是当前光伏领域较为成功的薄膜科学技术,由于该器件具有低成本,高可靠性以及可大面积生产等优势引起了人们的关注。CdTe属于直接带隙半导体,其带隙为1.45eV,具有很大的光吸收系数(1×105/cm)。CdTe薄膜太阳能电池的理论效率高达29%,目前溶液法处理的CdTe纳米晶太阳能电池最高效率仅为12.3%,仍有很大的提升空间。
纳米晶材料由于具有独特的物理学性质而显示出优异的光伏特性,因此常用于太阳能电池的制造。例如:①纳米半导体具有灵活的带隙可调节性能,通过简单设计合成工艺改变纳米材料的大小尺度,可以调整其禁带宽度,从而调谐对红外光子的吸收;②纳米材料具有更好的吸光性能,与体材料或者薄膜材料相比,纳米晶更大的表面积,使得材料在非常薄的厚度便可吸收大部分光子。
CdTe纳米晶薄膜当做太阳能电池虽然具有优异的光吸收特性,当是由于CdTe纳米晶的比表面积(表面积/体积)特别大,绝大部分原子处于表面状态,导致CdTe纳米晶薄膜表面自由能和离子悬挂键大大增加,最终产生了许许多多的活性中心。这些活性中心非常容易形成载流子的陷阱,俘获电荷,降低了CdTe纳米晶太阳能电池的性能。众所周知,CdCl2退火处理已成为制备高效CdTe光伏器件的标准、关键工艺步骤,该步骤最主要作用是对CdTe纳米晶薄膜重结晶,增大晶粒尺寸,钝化纳米晶的表面活性。然而,高效的CdTe纳米晶太阳能电池通常除了CdCl2热处理外会再添加其他的工艺进行表面修饰。
目前主要采取的方式有:1)引入空穴传输层,如:P3KT,Spiro-oMeTAD,和Si-TPA等有机材料,与CdTe产生偶极作用或者配位,不仅可以钝化纳米晶薄膜的活性也可以提高空穴的收集速率;2)采用刻蚀工艺,该方式也可以有效钝化薄膜的晶界,并且能够有效提高空穴浓度。但是大多数的有机空穴传输材料并不能稳定,另外刻蚀工艺涉及到的酸性溶液(HNO3,Br2)挥发性极强,而且并非属于环境友好型。因此,研究一种更简单环保的CdTe纳米晶太阳能电池的处理工艺十分有必要。
发明内容
为了克服现有技术存在的不足,本发明的目的是提供一种表面钝化处理的CdTe纳米晶薄膜及其表面钝化处理方法。
针对以上现有工艺存在的缺点和不足之处,本发明的目的在于提供一种新型CdTe纳米晶薄膜的表面钝化工艺(具有倒装结构的碲化镉(CdTe)米晶太阳能电池的阳极界面钝化工艺)。
本发明提供的CdTe纳米晶薄膜可以降低载流子的复合速度,大幅度提升器件的短路电流。
本发明的目的至少通过如下技术方案之一实现。
本发明提供的一种CdTe纳米晶薄膜的表面钝化方法,包括如下步骤:
在CdTe纳米晶薄膜上沉积螯合剂溶液和涂覆CdCl2溶液,然后进行热处理,得到表面钝化后的CdTe纳米晶薄膜(高质量的CdTe纳米晶薄膜)。
进一步地,所述CdTe纳米晶薄膜的厚度为200-700nm。
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