[发明专利]一种提高效率的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：它包括真空镀膜室、设置于真空镀膜室外周壁上且用于对真空镀膜室抽真空的真空泵系统、设置于真空镀膜室内用于蒸发膜材的蒸发器组件、设置于真空镀膜室内且位于蒸发器组件轮廓上方的基片架以及设置于真空镀膜室外侧且用于向蒸发器组件添加膜材的加料组件；

所述加料组件包括密封的加料室、设置于加料室内的加料仓、设置于加料室内且位于加料仓轮廓下方的送料机构以及设置于送料机构一端的送料管，所述送料管靠近送料机构的端部设置为进料口，所述送料管的另一端设置为出料口，所述进料口的高度高于出料口的高度，所述出料口依次贯穿加料室和真空镀膜室后伸入至蒸发器组件的轮廓范围内，所述加料仓的底部设置有加料阀门，所述加料室的外周壁上设置有控制加料阀门开关的加料按钮以及用于控制送料机构送料的送料按钮。

2.如权利要求1所述的一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：所述送料机构包括送料带、送料电机、主动辊和从动辊，所述主动辊和从动辊通过送料带形成联动，所述送料电机用于驱动主动辊转动，所述送料带设置于加料仓的轮廓下方，所述送料按钮用于控制送料电机的开关。

3.如权利要求2所述的一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：所述进料口的大小与送料带的端部相配合，所述送料带的一端伸入到进料口内。

4.如权利要求1所述的一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：所述蒸发器组件包括由隔热耐火砖堆砌而成的隔热室、设置于隔热室内用于盛放膜材的坩埚以及设置于坩埚底部的第一加热线圈，所述出料口位于坩埚的轮廓范围内。

5.如权利要求4所述的一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：所述坩埚的外周壁上还设置有第二加热线圈，所述第二加热线圈夹设于隔热室的内周壁和坩埚的外周壁之间。

6.如权利要求1所述的一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：它还包括用于调节基片架位置的调节机构，所述调节机构包括隔热壳体、升降电机、丝杆和旋转电机，所述隔热壳体的顶部和真空镀膜室内侧的顶部固定连接，所述升降电机、丝杆和旋转电机均设置于隔热壳体内，所述升降电机固定设置于隔热壳体内侧的顶部，所述升降电机和丝杆的上端固定连接用于驱动丝杆转动，所述丝杆上还螺纹套接有安装座，所述旋转电机固定于安装座的底部且位于丝杆的轮廓外侧，所述旋转电机上设置有输出轴，所述输出轴的长度大于丝杆的长度，所述输出轴的下端贯穿隔热壳体后与基片架的顶部中心固定连接。

7.如权利要求6所述的一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：所述调节机构还包括固定于隔热壳体内侧的顶部且与丝杆平行的滑杆，所述滑杆的下端贯穿安装座的底部后向下延伸分布。