[发明专利]一种提高效率的真空镀膜装置

说明书

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种提高效率的真空镀膜装置。它包括真空镀膜室、真空泵系统、蒸发器组件和加料组件；加料组件包括加料室、加料仓、送料机构和送料管，送料管的两端分别设置为进料口和出料口，进料口的高度高于出料口的高度，加料仓的底部设置有加料阀门。本装置通过送料机构将加料仓上装载的膜材输送至进料口处，进入到进料口内的膜材最终会由出料口输送至蒸发器组件内，以便于及时的为蒸发器组件添加新的膜材。该装置为蒸发器组件添加新的膜材时极为简便和快速，减少了手动为蒸发器组件添加膜材的次数和时间，从而能够提高整个真空镀膜装置的效率，具有很强的实用价值和市场推广价值。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种提高效率的真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。

现有的真空镀膜主要有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜，而在蒸发镀膜中常采用电阻加热器加热蒸发膜材，这种设备的构造简单、造价便宜、使用可靠，可用于蒸发熔点不太高的膜材，尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。而在现有的蒸发镀膜的过程中，往往经常需要手动的往蒸发器内加入新的膜材以保证蒸发器能够继续蒸发膜材以实现镀膜操作，这种频繁手动添加膜材的方式无疑大大的降低了真空镀膜的效率，不利于大批量的生产。

因此，有必要对现有的真空镀膜装置提出改进方案，提供一种能够减少手动添加膜材次数以提高真空镀膜整体效率的真空镀膜装置。

发明内容

针对上述现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种提高效率的真空镀膜装置。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种提高效率的真空镀膜装置，它包括真空镀膜室、设置于真空镀膜室外周壁上且用于对真空镀膜室抽真空的真空泵系统、设置于真空镀膜室内用于蒸发膜材的蒸发器组件、设置于真空镀膜室内且位于蒸发器组件轮廓上方的基片架以及设置于真空镀膜室外侧且用于向蒸发器组件添加膜材的加料组件；

所述加料组件包括密封的加料室、设置于加料室内的加料仓、设置于加料室内且位于加料仓轮廓下方的送料机构以及设置于送料机构一端的送料管，所述送料管靠近送料机构的端部设置为进料口，所述送料管的另一端设置为出料口，所述进料口的高度高于出料口的高度，所述出料口依次贯穿加料室和真空镀膜室后伸入至蒸发器组件的轮廓范围内，所述加料仓的底部设置有加料阀门，所述加料室的外周壁上设置有控制加料阀门开关的加料按钮以及用于控制送料机构送料的送料按钮。

优选地，所述送料机构包括送料带、送料电机、主动辊和从动辊，所述主动辊和从动辊通过送料带形成联动，所述送料电机用于驱动主动辊转动，所述送料带设置于加料仓的轮廓下方，所述送料按钮用于控制送料电机的开关。

优选地，所述进料口的大小与送料带的端部相配合，所述送料带的一端伸入到进料口内。

优选地，所述蒸发器组件包括由隔热耐火砖堆砌而成的隔热室、设置于隔热室内用于盛放膜材的坩埚以及设置于坩埚底部的第一加热线圈，所述出料口位于坩埚的轮廓范围内。

优选地，所述坩埚的外周壁上还设置有第二加热线圈，所述第二加热线圈夹设于隔热室的内周壁和坩埚的外周壁之间。

优选地，它还包括用于调节基片架位置的调节机构，所述调节机构包括隔热壳体、升降电机、丝杆和旋转电机，所述隔热壳体的顶部和真空镀膜室内侧的顶部固定连接，所述升降电机、丝杆和旋转电机均设置于隔热壳体内，所述升降电机固定设置于隔热壳体内侧的顶部，所述升降电机和丝杆的上端固定连接用于驱动丝杆转动，所述丝杆上还螺纹套接有安装座，所述旋转电机固定于安装座的底部且位于丝杆的轮廓外侧，所述旋转电机上设置有输出轴，所述输出轴的长度大于丝杆的长度，所述输出轴的下端贯穿隔热壳体后与基片架的顶部中心固定连接。