[发明专利]曲面形状检查装置

权利要求书

1.一种曲面形状检查装置，具备：

共焦光学式传感器，该共焦光学式传感器通过对玻璃板的曲面中的测定点照射具有多个波长成分的光，同时接受所述光的在所述测定点反射的反射光，从而测定到所述测定点为止的距离；以及

测定点移动机构，该测定点移动机构使所述玻璃板的所述曲面中的所述测定点的位置移动。

2.如权利要求1所述的曲面形状检查装置，其特征在于，所述共焦光学式传感器具有：

光源，所述光源产生所述光；

头部，所述头部使从所述光源导出的所述光产生轴向色差，同时将所述光朝向所述测定点聚光照射，使所述光的在所述测定点反射的所述反射光入射；

受光部，所述受光部将入射至所述头部的所述反射光分离为各波长成分，并接受各波长成分的光；以及

处理部，所述处理部根据所述受光部中的各波长成分的受光量，算出从所述头部到所述测定点为止的距离。

3.如权利要求2所述的曲面形状检查装置，其特征在于，所述测定点移动机构具有：

头部移动机构，所述头部移动机构使所述头部在相互正交的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上移动；以及

头部旋转机构，所述头部旋转机构使所述头部以与Y轴平行的旋转轴为中心进行旋转。

4.如权利要求3所述的曲面形状检查装置，其特征在于，具备对所述测定点移动机构进行控制的控制装置，

所述控制装置使所述头部的光轴与所述曲面的所述测定点处的法线的、X轴分量和Z轴分量的合成分量一致。

5.如权利要求2～4中任一项所述的曲面形状检查装置，所述曲面形状检查装置对相互重叠的第一玻璃板和第二玻璃板的间隙大小进行检查，其特征在于，

所述处理部算出从所述头部到所述头部的光轴与所述第一玻璃板的与所述第二玻璃板相向的主表面的交点为止的距离，并且算出从所述头部到所述头部的光轴与所述第二玻璃板的与所述第一玻璃板相向的主表面的交点为止的距离。