[发明专利]曲面形状检查装置在审
申请号: | 201910309302.X | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN110411367A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 梅村聪;野津启司 | 申请(专利权)人: | AGC株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 董庆;刘多益 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 测定点 玻璃板 曲面形状 光学式传感器 检查装置 移动机构 共焦 垂直照射 反射光 波长 反射 照射 | ||
本发明提供一种测定玻璃板的曲面形状的技术,其为即使相对于玻璃板的曲面的测定点不那么严格地垂直照射光,也能测定到测定点为止的距离的技术。本发明的曲面形状检查装置具备:共焦光学式传感器,该共焦光学式传感器通过对玻璃板的曲面中的测定点照射具有多个波长成分的光,同时接受所述光的在所述测定点反射的反射光,从而测定到所述测定点为止的距离;以及测定点移动机构,该测定点移动机构使所述玻璃板的所述曲面中的所述测定点的位置移动。
技术领域
本公开涉及曲面形状检查装置。
背景技术
专利文献1的曲面形状测定装置是测定汽车用窗玻璃等被检查物的曲面的周缘部的装置。该装置包括:具有5以上的自由度的机器人、设置在机器人的前端的光学式距离传感器和检测该传感器位置的位置检测器。因为使用非接触类型的光学式距离传感器,所以能在不损伤被检查物的情况下测定被检查物的曲面形状。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开平1-174907号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
作为测定玻璃板的曲面形状的光学式距离传感器,通常使用三角测距方式的激光位移计。三角测距方式的激光位移计包括:对玻璃板的曲面的测定点垂直照射光的投光透镜、接受在测定点所反射的反射光的受光透镜、和接受通过了受光透镜的反射光的受光元件。受光透镜的光轴相对于投光透镜的光轴倾斜地配置。
若从投光透镜到测定点为止的距离变化,则从测定点入射至受光透镜的反射光的反射角度变化,在反射光的受光元件中成像的位置变化。基于在反射光的受光元件中成像的位置,可测定从投光透镜到测定点为止的距离。通过重复进行测定到测定点为止的距离、及改变测定的位置,可测定玻璃板的曲面形状。
可是,三角测距方式中,投光透镜的光轴相对于玻璃板的曲面的测定点处的法线仅倾斜例如1°~2°时,反射光在受光元件上不能成像,无法进行距离的测定。为了能够进行距离的测定,需要使投光透镜的光轴和玻璃板的曲面的测定点处的法线准确地一致。
在确定投光透镜的光轴的角度的时刻,玻璃板实际的曲面形状是不明确的。因此,基于玻璃板的理想的曲面形状来确定投光透镜的光轴的角度。但是,理想的曲面形状和实际的曲面形状的偏差较大时,无法进行距离的测定。
本公开的一种形态提供测定玻璃板的曲面形状的技术,其为即使相对于玻璃板的曲面的测定点不那么严格地垂直照射光,也能测定到测定点为止的距离的技术。
解决技术问题所采用的技术方案
本公开的一实施方式的曲面形状检查装置具备:共焦光学式传感器,该共焦光学式传感器通过对玻璃板的曲面中的测定点照射具有多个波长成分的光,同时接受所述光的在所述测定点反射的反射光,从而测定到所述测定点为止的距离;以及测定点移动机构,该测定点移动机构使所述玻璃板的所述曲面中的所述测定点的位置移动。
发明效果
根据本公开的一实施方式,可提供测定玻璃板的曲面形状的技术,其为即使相对于玻璃板的曲面的测定点不那么严格地垂直照射光,也能测定到测定点为止的距离的技术。
附图说明
图1是显示一实施方式的曲面形状检查装置的主视图。
图2是显示一实施方式的曲面形状检查装置的平面视图。
图3是显示一实施方式的共焦光学传感器的图。
图4是显示一实施方式的受光部的图。
图5是显示一实施方式的在受光部所接受的受光量和波长的关系的图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AGC株式会社,未经AGC株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910309302.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种道路积水深度的检测方法及电子设备
- 下一篇:干涉信号的相位校正方法