[发明专利]微发光二极管的转移设备及转移方法有效
申请号: | 201910309358.5 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN110021687B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 谢俊杰;谭叶舟;罗振兴;向彬;桑建 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/683 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 转移 设备 方法 | ||
本公开提供一种微发光二极管的转移设备及转移方法,涉及显示技术领域。本公开的转移设备用于将微发光二极管转移至基板上,该转移设备包括滚筒,该滚筒包括筒侧壁、筒端壁及由筒侧壁和筒端壁包围的空腔;筒侧壁的外周面设有沿周向阵列排布的多个吸附槽,空腔与各吸附槽的底部连通;每个吸附槽均沿深度方向朝滚筒中轴线逐渐收缩,并与微发光二极管的一端匹配,用于吸附微发光二极管;筒端壁设有与空腔连通的开孔,通过开孔使得空腔形成负压状态。本公开的转移设备可提高转移精度和效率,改善产品质量。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,具体而言,涉及一种微发光二极管的转移设备及转移方法。
背景技术
微发光二极管(Micro LED)是微米级的发光二极管,通过驱动电路驱动阵列分布的微发光二极管可实现图像显示,具有超高对比度、低功耗、亮度高、寿命长、高色域、反应时间快等优点。在制造完微发光二极管后,需要将大量的微发光二极管转移至驱动电路板上并形成阵列,以便显示图像。但是,现有转移方式的精度和效率较低。
需要说明的是,在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种微发光二极管的转移设备及转移方法,可提高转移精度和效率,改善产品质量。
根据本公开的一个方面,提供一种转移设备,用于将微发光二极管转移至基板上,所述转移设备包括:
滚筒,所述滚筒包括筒侧壁、筒端壁及由所述筒侧壁和所述筒端壁包围的空腔;所述筒侧壁的外周面设有沿周向阵列排布的多个吸附槽,所述空腔与各所述吸附槽的底部连通;每个所述吸附槽均沿深度方向朝所述滚筒中轴线逐渐收缩,并与所述微发光二极管的一端匹配,用于吸附所述微发光二极管;
所述筒端壁设有与所述空腔连通的开孔,通过所述开孔使得所述空腔形成负压状态。
在本公开的一种示例性实施例中,至少一个所述筒端壁设有多个排水孔,所述排水孔与所述空腔连通,且所述排水孔与所述筒侧壁的外周面在径向上的最小距离大于所述筒侧壁的厚度。
在本公开的一种示例性实施例中,所述开孔的中心位于所述滚筒的中心线;所述滚筒还包括:
转轴,穿设于所述开孔,并与所述筒端壁固定连接,且所述转轴的至少一端位于所述空腔外;所述转轴位于所述空腔内的部分的外周面设有气孔,所述转轴内设有气道,所述气道的一端与所述气孔连通,所述气道的另一端延伸至所述滚筒外且为开放端;
负压组件,与所述气道的开放端连通,用于使所述空腔内形成负压。
在本公开的一种示例性实施例中,每个所述吸附槽的底部均设有与所述空腔连通的吸附孔,所述排水孔大于所述吸附孔。
在本公开的一种示例性实施例中,所述吸附槽为正棱台状结构或圆台状结构。
在本公开的一种示例性实施例中,所述转移设备还包括:
容置槽,用于盛放溶液。
在本公开的一种示例性实施例中,所述转移设备还包括:
旋转驱动组件,与所述滚筒连接,用于驱动所述滚筒沿周向转动;
搬运机构,与所述旋转驱动组件连接,用于驱动所述滚筒移出或部分移入所述容置槽,且在所述滚筒位于所述容置槽外时,所述搬运机构用于驱动所述滚筒沿预设方向水平移动。
在本公开的一种示例性实施例中,所述基板具有安装区和分隔于所述安装区两侧的第一定位区和第二定位区,所述安装区用于安装所述微发光二极管;
所述转移设备还包括:
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