[发明专利]翻转结构及晶圆甩干设备

权利要求书

1.一种翻转结构，应用于晶圆甩干设备中，其特征在于，包括承载盒(1)、转盘(2)和翻转装置(4)；

所述承载盒(1)转动连接于所述转盘(2)；

所述翻转装置(4)驱动连接所述承载盒(1)，能够驱动所述承载盒(1)在所述转盘(2)上翻转；

还包括支撑板(31)；

所述支撑板(31)固接于所述转盘(2)，且所述承载盒(1)转动连接于所述支撑板(31)；

所述翻转装置(4)包括翻转组件(41)和动力组件(42)；

所述动力组件(42)驱动连接所述翻转组件(41)，且所述动力组件(42)驱动所述翻转组件(41)运动时，所述翻转组件(41)能够带动所述承载盒(1)翻转；

所述翻转组件(41)包括摆杆(411)、传动板(412)、支撑轴(413)和固接于机架的法兰座(414)；

所述摆杆(411)插设于所述法兰座(414)，且与所述法兰座(414)转动连接；

所述摆杆(411)包括相对应的第一端和第二端，所述第二端固接于所述传动板(412)的一端，所述支撑轴(413)固接于所述传动板(412)的另一端；

所述动力组件(42)驱动连接所述支撑轴(413)，且能够驱动所述支撑轴(413)带动所述传动板(412)摆动，以令所述传动板(412)带动所述摆杆(411)转动，从而所述摆杆(411)的第一端带动所述承载盒(1)翻转。

2.根据权利要求1所述的翻转结构，其特征在于，所述翻转组件(41)还包括密封法兰(415)，所述密封法兰(415)固接于所述法兰座(414)；所述摆杆(411)穿过所述密封法兰(415)后与所述法兰座(414)连接。

3.根据权利要求2所述的翻转结构，其特征在于，所述翻转装置(4)还包括密封组件；

所述密封组件包括第一密封圈(431)、第二密封圈(432)和第三密封圈(433)；

所述第一密封圈(431)设置于所述密封法兰(415)和所述摆杆(411)之间，所述第二密封圈(432)设置于所述密封法兰(415)和所述法兰座(414)之间，所述第三密封圈(433)设置于所述法兰座(414)和所述机架之间。

4.根据权利要求1所述的翻转结构，其特征在于，所述动力组件(42)包括气缸(421)；

所述气缸(421)的缸筒铰接于所述机架，所述支撑轴(413)固接于所述气缸(421)的活塞杆；所述活塞杆相对所述缸筒伸缩时，能够驱动所述支撑轴(413)带动所述传动板(412)摆动。

5.根据权利要求1所述的翻转结构，其特征在于，所述承载盒(1)上固设有翻转板(5)，所述转盘(2)上固设有垫板(6)；

所述第一端带动所述翻转板(5)转动，能够令所述翻转板(5)带动所述承载盒(1)翻转，且所述承载盒(1)翻转至预设的甩干位置时，所述翻转板(5)与所述垫板(6)抵接。

6.根据权利要求5所述的翻转结构，其特征在于，沿所述摆杆(411)的延伸方向，所述摆杆(411)包括依次连接的第一段部(4111)、第二段部(4112)和第三段部(4113)，且所述第二段部(4112)和所述第一段部(4111)之间呈角度设置；

所述第二端位于所述第一段部(4111)上，所述第一端位于所述第三段部(4113)上。

7.一种晶圆甩干设备，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的翻转结构。