[发明专利]衬套的制造方法、基板支撑组件及基板处理装置

权利要求书

1.一种衬套的制造方法，用于制造具有用于顶杆移动的内部孔的衬套，其特征在于，包括：

提供为了同时形成所述衬套的外形及所述内部孔而包括用于形成所述衬套的外形的成型空间及用于形成所述内部孔的内部销的成型部件的步骤；

执行向所述成型空间内填充用于形成衬套的物质的注塑成型工程的步骤；以及

向所述成型空间内填充用于形成所述衬套的物质时或向所述成型空间内填充用于形成所述衬套的物质后冷却所述内部销的步骤。

2.根据权利要求1所述的衬套的制造方法，其特征在于：

用于形成所述衬套的物质包括聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone：PEEK)。

3.根据权利要求1所述的衬套的制造方法，其特征在于，还包括：

向所述成型空间内填充用于形成所述衬套的物质时向所述成型空间内提供负压的步骤。

4.根据权利要求1所述的衬套的制造方法，其特征在于：

向所述内部销的销孔内注入冷媒以冷却所述内部销。

5.一种基板支撑组件，其特征在于，包括：

板，其上部用于配置基板；

顶杆，其为了支撑所述基板的底面而贯通所述板向上方及下方移动；以及

衬套，其具有所述顶杆贯通所述板移动时引导所述顶杆的移动的内部孔，

其中，所述衬套通过利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件为了同时形成所述衬套的外形及所述内部孔而包括用于形成所述衬套的外形的成型空间及用于形成所述内部孔的内部销。

6.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其特征在于：

所述内部销具有在所述注塑成型工程被注入冷媒的销孔。

7.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其特征在于：

用于形成所述衬套的外形的所述成型空间在所述注塑成型工程被提供负压。

8.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其特征在于：

所述衬套包括聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone)。

9.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其特征在于：

所述衬套插入到所述板的贯通孔。

10.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其特征在于：

所述衬套配置在所述板的底面下部。

11.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其特征在于：

所述衬套部分插入到所述板内。

12.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

工程腔室，其包括收容基板且执行预定的工程的空间；以及

基板支撑组件，其在执行所述预定的工程时在所述工程腔室内支撑所述基板，

其中，所述基板支撑组件包括：

板，其上部用于配置基板；

顶杆，其为了支撑所述基板的底面而贯通所述板向上方及下方移动；

以及

衬套，其具有所述顶杆贯通所述板移动时引导所述顶杆的移动的内部孔，

其中，所述衬套通过利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件为了同时形成所述衬套的外形及所述内部孔而包括用于形成所述衬套的外形的成型空间及用于形成所述内部孔的内部销。

13.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于：

所述衬套由聚醚醚酮构成。

14.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于：

所述衬套插入到所述板的贯通孔内。

15.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于：

所述衬套配置在所述板的底面下部。

16.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于：

所述衬套部分插入到所述板。