[发明专利]一种平面波离轴干涉仪扩束装置

权利要求书

1.一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于，干涉仪通过限位机构设置在干涉仪平台上，所述扩束装置包括：

支撑装置；

主镜机构，设置在支撑装置内，与支撑装置可拆卸连接；

次镜机构，设置在支撑装置内。

2.根据权利要求1所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述支撑装置具有向内突出的支柱，所述主镜机构通过支柱与支撑装置可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述主镜机构包括主镜旋转板、主镜室和固定元件，所述主镜室内设有主镜，所述主镜旋转板通过固定元件与主镜室可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述主镜旋转板上分布有若干个腰子槽，固定元件穿过腰子槽将主镜旋转板与支撑装置的支柱可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述固定元件穿过的腰子槽的位置关系为腰子槽所在的位置点连接成等边三角形。

6.根据权利要求3所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述主镜为抛物面，主镜垂直于镜面方向的截面不为圆，所述截面具有一个缺口。

7.根据权利要求1所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述次镜机构包括次镜架、次镜旋转板、次镜室和底座，次镜室内设有次镜，次镜旋转板安装在次镜架一侧，次镜室安装在次镜架另一侧，次镜架安装在底座上。

8.根据权利要求7所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述次镜旋转板分布有若干个腰子槽，固定元件穿过腰子槽将次镜旋转板安装到次镜架上。

9.根据权利要求3所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述固定元件为带有外螺纹的圆柱体和配套的栓帽。

10.根据权利要求9所述的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，其特征在于：所述限位机构为一维运动导轨，包括导轨、导轨滑块和斜铁，导轨滑块安装在导轨的两侧，斜铁安装在导轨下方。