[发明专利]一种平面波离轴干涉仪扩束装置

说明书

本发明提出一种平面波离轴干涉仪扩束装置，干涉仪通过限位机构设置在干涉仪平台上，所述扩束装置包括：支撑装置；主镜机构，设置在支撑装置内，与支撑装置可拆卸连接；次镜机构，设置在支撑装置内。本发明提出的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，产生的大口径平面波无像差、无遮拦。

技术领域

本发明属于非接触式光学检测技术领域，特别涉及一种平面波离轴干涉仪扩束装置。

背景技术

干涉仪检测法是检测光学元件及光学系统最主要的方法之一。采用球面波干涉仪进行检测，需要配做相应的标准球面反射镜或透镜组加以辅助，不仅延长了加工周期，大大提高了加工成本，在检测时光学元件的增多也增加了装调难度，因此采用平面波干涉仪比采用球面波进行检测更方便，尤其是美国4D Technology公司生产的干涉仪，可以应用于光学系统现场检验，便于携带运输，可用于复杂或恶劣环境的光学检验，但是目前美国4DTechnology公司生产的干涉仪平面波口径最大只有100mm的口径，随着大口径光学系统需求的增大，100mm的口径已无法满足生产加工的要求，而且大口径光学透射材料具有难以制得、材料均匀性难以保证、加工难度大等缺陷。

针对上述平面波干涉仪存在的缺陷，本申请提出一种平面波离轴干涉仪扩束装置，能够克服上述缺陷并能很好地获得扩束的效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种平面波离轴干涉仪扩束装置，该装置具有限位功能、获得大口径光束、不需要使用大口径光学透射材料等优点。

为实现上述目的，本发明提出一种平面波离轴干涉仪扩束装置，与干涉仪配合使用，干涉仪通过限位机构设置在干涉仪平台上，所述扩束装置包括：

支撑装置；

主镜机构，设置在支撑装置内，与支撑装置可拆卸连接；

次镜机构，设置在支撑装置内。

在一实施例中，所述主镜机构包括主镜旋转板、主镜室和固定组件，主镜室内设有主镜，所述主镜旋转板通过固定元件与主镜室可拆卸连接，主镜旋转板分布有若干个腰子槽，固定组件穿过腰子槽将主镜旋转板与支撑装置连接，固定元件穿过的腰子槽的位置关系为腰子槽所在的位置点连接成等边三角形。

在一实施例中，所述次镜机构安装在支撑装置内，支撑装置内设有一空心方块，次镜机构设置在空心方块上，包括次镜架、次镜旋转板、次镜室和底座，次镜室内设有次镜，次镜旋转板安装在次镜架一侧，次镜室安装在次镜架另一侧，次镜架安装在底座上。所述次镜旋转板分布有若干个腰子槽，固定组件穿过腰子槽将次镜旋转板安装到次镜架上；所述次镜为非球面。所述底座从上至下依次包括调节垫片、次镜纵向平移板、次镜横向平移板、次镜过渡板和次镜安装板。

在一实施例中，所述固定元件为带有外螺纹的圆柱体和配套的螺帽

在一实施例中，所述限位机构为一维运动导轨，包括导轨、导轨滑块和斜铁，导轨滑块安装在导轨左右两侧，斜铁安装在导轨下方。

本发明提出的一种平面波离轴干涉仪扩束装置，可产生大于100mm口径的平面波。本发明装置可将干涉仪发出的100mm口径的平面波通过反射式系统扩束到大于100mm口径，产生的大口径平面波无像差、无遮拦。本装置采用反射式扩束激光，且为离轴形式无中心遮拦。在该装置中安装温度补偿机构，通过次镜和主镜间的温度补偿杆能够减少由于温度变化对镜间距的影响。一维运动导轨有限制干涉仪位置的作用。

附图说明

图1：本发明的整体结构示意图；

图2：本发明主镜机构结构示意图；

图3：本发明主镜旋转板结构示意图；

图4：本发明螺钉螺套与主镜室连接示意图；

图5：本发明主镜机构与支撑装置连接的局部放大图；