[发明专利]一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法

权利要求书

1.一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，其特征在于：包括以下步骤；

步骤一：将切割好的氮化硅陶瓷覆铜板放入10℃-50℃纯水中超声水洗1-2min，去除表面残留的切割粉尘；

步骤二、将清洗干净的氮化硅陶瓷覆铜板放入含有一定铜缓蚀剂的溶液中；

步骤三、将10％-40％浓度的双氧水缓慢均匀的滴入含有铜缓蚀剂的溶液中，并持续性的搅拌，直至双氧水含量占到总溶液的3％-8％，取出氮化硅陶瓷覆铜板，黑边大部分被氧化成二氧化硅；

步骤四、将氮化硅陶瓷覆铜板用纯水冲洗后，放入5％-10％浓度的稀盐酸溶液中，去除表面轻微的氧化层，再一次用纯水冲洗干净；

步骤五、将黑边预氧化过后的氮化硅陶瓷覆铜板放入氢氟酸的溶液中，超声浸泡30-40min，彻底洗去黑边。

2.根据权利要求1所述的一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，其特征在于：步骤二中，所述铜缓蚀剂的浓度为2-6mg/L，铜缓蚀剂为苯骈三氮唑、甲基苯骈三氮唑、巯基苯骈噻唑钠盐、噻二唑衍生物中的一种或多种组成，且溶液温度为20-25℃。

3.根据权利要求1所述的一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，其特征在于：步骤一中，将氮化硅陶瓷覆铜板切割好后需要对其进行磨边处理；

S1、用打磨机对切割好后的氮化硅陶瓷覆铜板的边角处进行打磨，在打磨过程中不可造成氮化硅陶瓷覆铜板的变形，使其边角圆顺；

S2、然后用600-800#细砂布砂光，使氮化硅陶瓷覆铜板的边角平滑自然、正面平整、无毛刺直至Ra值为8-15μm。

4.根据权利要求1所述的一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，其特征在于：步骤五中，彻底洗去黑边后再采用纯水在1-2MPa条件下进行冲洗，最后用风机吹干。