[发明专利]一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法

说明书

本发明公开了一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，包括以下步骤；步骤一：将切割好的氮化硅陶瓷覆铜板放入10℃‑50℃纯水中超声水洗1‑2min；步骤二、将清洗干净的氮化硅陶瓷覆铜板放入含有一定铜缓蚀剂的溶液中；步骤三、将10%‑40%浓度的双氧水缓慢均匀的滴入含有铜缓蚀剂的溶液中，取出氮化硅陶瓷覆铜板；步骤四、将氮化硅陶瓷覆铜板用纯水冲洗后，放入5%‑10%浓度的稀盐酸溶液中，去除表面轻微的氧化层，再一次用纯水冲洗干净；步骤五、将黑边预氧化过后的氮化硅陶瓷覆铜板放入氢氟酸的溶液中，超声浸泡30‑40min，彻底洗去黑边。本发明通过预氧化，再清洗的方法，能够在不伤害氮化硅表面铜皮的情况下，洗去相应的黑膜，可以彻底去除黑边。

技术领域

本发明涉及覆铜板技术领域，具体为一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法。

背景技术

陶瓷基覆铜板具有热导率高、高耐热、耐化学腐蚀、抗高电压电流、高尺寸稳定性、低信号损耗等性能，是理想的特殊电气电路用载体；

氮化硅由于较好的导热能力，极高的可靠性而被视为汽车电子级IGBT散热基板的首选，然而氮化硅覆铜板在激光切割的加工工程中，边缘会产生黑色的膜(主要为硅以及硅的氮氧化物)，该膜层比较薄，但化学性质相对稳定，普通的化学方法难以除去。

发明内容

本发明的目的在于提供一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，包括以下步骤；

步骤一：将切割好的氮化硅陶瓷覆铜板放入10℃-50℃纯水中超声水洗1-2min，去除表面残留的切割粉尘；

步骤二、将清洗干净的氮化硅陶瓷覆铜板放入含有一定铜缓蚀剂的溶液中；

步骤三、将10％-40％浓度的双氧水缓慢均匀的滴入含有铜缓蚀剂的溶液中，并持续性的搅拌，直至双氧水含量占到总溶液的3％-8％，取出氮化硅陶瓷覆铜板，黑边大部分被氧化成二氧化硅；

步骤四、将氮化硅陶瓷覆铜板用纯水冲洗后，放入5％-10％浓度的稀盐酸溶液中，去除表面轻微的氧化层，再一次用纯水冲洗干净；

步骤五、将黑边预氧化过后的氮化硅陶瓷覆铜板放入氢氟酸的溶液中，超声浸泡30-40min，彻底洗去黑边。

优选的，步骤二中，所述铜缓蚀剂的浓度为2-6mg/L，铜缓蚀剂为苯骈三氮唑、甲基苯骈三氮唑、巯基苯骈噻唑钠盐、噻二唑衍生物中的一种或多种组成，且溶液温度为20-25℃。

优选的，步骤一中，将氮化硅陶瓷覆铜板切割好后需要对其进行磨边处理；

S1、用打磨机对切割好后的氮化硅陶瓷覆铜板的边角处进行打磨，在打磨过程中不可造成氮化硅陶瓷覆铜板的变形，使其边角圆顺；

S2、然后用600-800#细砂布砂光，使氮化硅陶瓷覆铜板的边角平滑自然、正面平整、无毛刺直至Ra值为8-15μm。

优选的，步骤五中，彻底洗去黑边后再采用纯水在1-2MPa条件下进行冲洗，最后用风机吹干。

本发明提出的一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，有益效果在于：

1、本发明通过预氧化，再清洗的方法，能够在不伤害氮化硅表面铜皮的情况下，洗去相应的黑膜，可以彻底去除黑边；

2、本发明对氮化硅覆铜板黑边清洗操作简单方便，清洗成本较低，有利于推广使用。

具体实施方式