[发明专利]在腔体检查缺陷的系统及其方法

说明书

公开缺陷检查系统及其方法。检查出检查对象物的边缘有无缺陷的缺陷检查系统包括：光源部；及利用所述光源部照射的光在配置有检查对象物的移送部件的上部拍摄所述检查对象物以检查出所述检查对象物有无缺陷的摄像头，所述摄像头可在腔体内部及腔体外部中至少一个拍摄所述检查对象物。本发明能够在腔体准确地检测出检查对象物的边缘。并且，本发明的目的是提供以非接触非破坏方式在腔体内部密闭的真空状态下也能够检查出检查对象物边缘有无缺陷。

技术领域

本发明涉及在腔体检查缺陷的系统及其方法。

背景技术

有多种检查玻璃基板、膜的不良的方法。现有的玻璃基板边缘检查方法主要采用了通过机械臂移送玻璃基板的时间点在机械臂下部照射光后在机械臂上部以线为单位扫描玻璃基板的方式。

即，光在机械臂下部照射，因此具有无法拍摄由于机械臂而无法通过的部分的问题。

发明内容

技术问题

本发明的目的是能够在腔体准确地检测出检查对象物的边缘的在腔体检查缺陷的系统及其方法。

并且，本发明的目的是提供以非接触非破坏方式在腔体内部密闭的真空状态下也能够检查出检查对象物边缘有无缺陷的在腔体检查缺陷的系统及其方法。

技术方案

根据本发明的方面，提供一种能够在腔体检查出检查对象物的边缘有无缺陷的缺陷检查系统。

根据本发明的一个实施例，可提供一种在腔体检查对象物的缺陷的系统，包括：光源部；及利用所述光源部照射的光在配置有检查对象物的移送部件的上部拍摄所述检查对象物以检查出所述检查对象物有无缺陷的摄像头，所述摄像头在所述腔体外部或内部拍摄所述检查对象物。

所述缺陷检查系统还可以包括位于所述腔体的内部且位于所述移送部件的下部，面向所述光源部配置吸收所述光源部照射后透过了所述检查对象物的光的非反射部件。

所述观察窗口形成于所述腔体的上端，所述光源部通过所述观察窗口向所述检查对象物的上部照射光，所述摄像头可利用照射到所述检查对象物的上部后被所述检查对象物反射的光拍摄所述检查对象物以检查出边缘有无缺陷。

所述缺陷检查系统还可以包括位于所述腔体的内部且面向所述光源部配置于所述移送部件的下部，反射所述光源部照射后透过了所述检查对象物的光的反射部件。

所述光源部面向所述摄像头配置于所述腔体的内部，可在所述移送部件的上部及所述移送部件的下部中至少一个向所述检查对象物照射光。

所述腔体的上端形成有第一观察窗口，所述腔体的下端形成有第二观察窗口，所述光源部通过所述第二观察窗口在移送部件下部向上部照射光，所述摄像头可通过所述第一观察窗口利用所述光源部照射后透过了所述检查对象物的光拍摄所述检查对象物以检查出边缘有无缺陷。

所述第一观察窗口与所述第二观察窗口可形成为彼此相对且可形成于同一垂直线上的位置。

所述腔体为移送腔体，所述光源部及所述摄像头可在所述腔体密闭的真空状态工作。

有多个所述光源部及所述摄像头，所述光源部与所述摄像头的个数等于形成于所述移送部件的支撑部件的个数，各光源部与摄像头可配置成与所述支撑部件的位置相一致。

根据本发明的另一方面，可提供一种缺陷检查系统，是检查对象物缺陷检查系统，包括：第一光源部；第二光源部；利用所述第一光源部及所述第二光源部照射的光在配置有检查对象物的移送部件的上部拍摄所述检查对象物以检查出所述检查对象物有无缺陷的摄像头，所述摄像头在腔体的内部或外部拍摄所述检查对象物。