[发明专利]OLED阵列基板及其制作方法有效
申请号: | 201910322930.1 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN110085553B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 夏存军;张兴永 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 阵列 及其 制作方法 | ||
本发明公开一种OLED阵列基板及其制作方法,所述OLED阵列基板主要包含一基板、一TFT层、一绝缘层、一阳极层、一像素限定层,其中所述像素限定层具有一第一槽孔及一第二槽孔,所述第一槽孔内形成一发光层,所述第二槽孔内具有多个填充物,所述多个填充物在所述第二槽孔内形成多个不连续槽孔,用以形成多个不连续的阴极层。当远离显示区的像素限定层表面的阴极被腐蚀,不会影响到显示区内的阴极的功能,从而不会影响到显示器件的显示效果,因此不再受全部覆盖下边框阴极的薄膜封装层限制,可以有效的实现更窄的下边框。
技术领域
本发明涉及一种OLED阵列基板及其制作方法,特别是涉及一种适用于窄边框面板设计的OLED阵列基板及其制作方法。
背景技术
与液晶显示器相比,有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)具有高对比、视角、运动图像响应速度等,以此引起人们的关注和开发。随着OLED应用领域的拓展,新的应用领域更多的需要OLED显示柔性化的全面屏,OLED显示柔性化的全面屏会有越来越多的要求如:OLED显示弯折使用寿命、窄边框等;OLED全面屏柔性显示则会要求对OLED器件需要的封装采用薄膜化及四周边框尽量变窄,OLED显示的边框中,下边框变窄是一个很大的考验。
现在OLED显示的下边框变窄很大的难题就是,薄膜封装的边界要包裹住OLED器件的阴极,而OLED器件的阴极受掩膜版误差约±100微米的限制,所以薄膜封装所要覆盖的区域就没法进行有效的收缩变窄。也就是说,现在OLED下边框变窄时,会造成阴极包覆不佳、易腐蚀,封装有机层易溢出挡墙等风险。
因此,有必要提供一种改良的OLED阵列基板及其制作方法,以解决上述技术问题。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种OLED阵列基板及其制作方法,其具有多个不连续的阴极层,当远离显示区的像素限定层表面的阴极被腐蚀,不会影响到显示区内的阴极的功能,从而不会影响到显示器件的显示效果。此外,在所述像素限定层形成突起的挡墙,可进一步防止封装的有机层溢出。
为达上述目的,本发明提供一种OLED阵列基板的制作方法,其包含以下步骤:
提供一基板,其中一TFT层形成在所述基板上,一绝缘层形成在部分的所述TFT层上,一阳极层形成在部分的所述绝缘层上并与所述TFT层连接,一像素限定层形成在所述TFT层、所述绝缘层及所述阳极层上;
移除部分的所述像素限定层,将所述像素限定层在所述阳极层上方形成一第一槽孔,在所述第一槽孔旁形成一第二槽孔;
形成一发光层在所述第一槽孔内,及在所述第二槽孔内制作多个填充物,以在所述第二槽孔内形成多个不连续槽孔;及
形成多个阴极层在所述像素限定层上,及形成在所述第一槽孔及所述第二槽孔内,所述多个阴极层为不连续的阴极层。
在本发明的一实施例中,在形成多个阴极层的步骤之后,还包含以下步骤:形成一有机挡墙在所述不连续槽孔内及其上方。
在本发明的一实施例中,在形成一有机挡墙的步骤之后,形成一有机层覆盖所述第一槽孔上方直至所述有机挡墙。
在本发明的一实施例中,在形成一有机层之前,还含包含以下步骤:在所述像素限定层上形成一第一无机层,所述第一无机层覆盖所述多个阴极层及所述有机挡墙。
在本发明的一实施例中,在形成一有机层之后,还含包含以下步骤:在所述有机层上形成一第二无机层,所述第二无机层覆盖所述有机层及所述第一无机层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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