[发明专利]一种TFT-LCD玻璃基板的研磨抛光方法在审
| 申请号： | 201910328173.9 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN109909869A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;张冲;韩金全 | 申请（专利权）人： | 蚌埠中光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/24;C09G1/02 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 研磨抛光 粗造度 磨削量 研磨机 磨盘 粗磨 细磨 工艺要求 工作稳定 温度影响 研磨效率 仿麂皮 抛光机 铁材质 研磨垫 基板 上盘 下盘 转盘 轴承 | ||
【权利要求书】：
1.一种TFT-LCD玻璃基板的研磨抛光方法，包括现有粗磨、细磨步骤，其特征在于包括以下步骤：
1）.第一阶段为粗磨，浮法生产的TFT-LCD玻璃基板先采用研磨机进行粗磨，研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质，研磨垫材质为聚氨酯发泡材质、研磨液为抛光粉，磨削量为15-20μm，使玻璃的粗造度控制在0.15μm以内；
2）.第二阶段采用研磨机进行细磨，研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质，研磨垫材质为聚氨酯发泡材质，磨削量为5-10μm，使玻璃的粗造度控制在0.1μm以内；
3）.第三阶段采用研磨机进行研磨抛光，研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质，研磨垫材质为仿麂皮类型，使上盘频率为50-60赫兹、下盘频率为20-30赫兹，研磨时间为5-10分钟，磨削量为5-10μm，使玻璃的粗造度控制在0.01μm以内。
2.根据权利要求1所述一种TFT-LCD玻璃基板的研磨抛光方法，其特征在于所述TFT-LCD玻璃基板的渗锡层为20-40μm、表面粗糙度为5μm以内。
3.根据权利要求1所述一种TFT-LCD玻璃基板的研磨抛光方法，其特征在于：所述抛光粉中稀土含量95.2wt%、氧化铈含量63.1wt%、氟含量5.6wt%。
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