[发明专利]吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法

权利要求书

1.一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将聚碳硅烷交联纤维置于真空烧结炉，抽真空；

S2：将真空烧结炉升温至300～500℃，之后通入氨气和氦气的混合气直至真空烧结炉内压力为85～95kPa；

S3：继续通入氨气和氦气的混合气，同时将真空烧结炉内温度从300～500℃升温至800～1000℃，并保持真空烧结炉内压力为85～95kPa不变，待温度达到800～1000℃后停止向真空烧结炉内通入氨气和氦气混合气；

S4：控制真空烧结炉内压力为10～50Pa，同时将真空烧结炉内温度从800～1000℃升温至1300～1500℃；

S5：停止真空烧结炉升温，待其温度降低至50℃以下，即可取出吸波型连续SiCN陶瓷纤维。

2.如权利要求1所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述聚碳硅烷交联纤维的C/Si原子比为1.5～2，1000℃氮气中重量保持率高于80％，400℃不会熔化变形。

3.如权利要求1所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述抽真空为至真空烧结炉内压力低于1Pa。

4.如权利要求1所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述混合气中氨气和氦气体积比为(1:1)～(4:1)；所述通入混合气的流量为1～2L/min。

5.如权利要求1所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述通入混合气的流量为1～2L/min；所述升温速率为1～2℃/min。

6.如权利要求1所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述保持真空烧结炉内压力不变是通过真空泵抽气量调节实现的。

7.如权利要求1所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述控制真空烧结炉内压力为10～50Pa是通过真空泵抽气量调节实现的；所述升温速率为2～5℃/min。

8.如权利要求1～7任一项所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述吸波型连续SiCN陶瓷纤维的电阻率为10⁴～10⁸Ω·cm，在8～18GHz范围内介电常数为8～20，损耗角正切值为0～0.5，最低电磁反射损耗达到-63.7dB，厚度为有效吸收带宽达到4.20GHz。

9.如权利要求8所述的一种吸波型连续SiCN陶瓷纤维的制备方法，其特征在于，所述吸波型连续SiCN陶瓷纤维的碳含量为20～30wt％、氮含量为10～20wt％，具有SiC/SiC_xN_y/Si₃N₄三明治微结构。