[发明专利]涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器

权利要求书

1.一种涂敷装置，其特征在于，包括：

用于保持基片的基片保持部；

排出单元，其包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头；

移动机构，其用于使所述排出单元和所述基片保持部沿与所述第一方向交叉的第二方向相对地移动。

所述基片包括：

与多个副像素对应地设置的多个像素电极；

堤，其覆盖所述多个像素电极并且形成有多个使至少一个所述像素电极露出的开口部；和

用于将对置电极与辅助电极电连接的多个接触孔，其中所述对置电极与所述多个像素电极相对，

对每2个以上的所述副像素形成所述接触孔，

所述排出单元从所述喷嘴向由所述基片保持部保持的所述基片的开口部排出有机材料的液滴。

2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：

对2个以上的同色的副像素形成所述接触孔。

3.如权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于：

所述开口部能够使与相邻的2个以上的同色的所述副像素对应地设置的2个以上的所述像素电极露出，

对与由所述开口部露出的2个以上的所述像素电极对应的2个以上的同色的所述副像素，形成所述接触孔。

4.如权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于：

所述开口部能够使与在所述第一方向相邻的2个以上的同色的所述副像素对应地设置的2个以上的所述像素电极露出。

5.如权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于：

所述开口部能够使与在所述第二方向相邻的2个同色的所述副像素对应地设置的2个所述像素电极露出。

6.如权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于：

所述开口部能够使与在所述第一方向和所述第二方向相邻的4个以上的同色的所述副像素对应地设置的4个以上的所述像素电极露出。

7.如权利要求3～6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

所述接触孔形成于在所述第一方向相邻的2个所述开口部之间的区域。

8.如权利要求3～6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

所述接触孔形成于在所述第二方向上相邻的2个所述开口部之间的区域。

9.如权利要求8所述的涂敷装置，其特征在于：

所述开口部以与所述接触孔相邻的部分的所述第二方向的尺寸比其他部分的所述第二方向的尺寸窄的方式形成。

10.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：

对每2个以上的不同色的副像素形成所述接触孔。

11.如权利要求10所述的涂敷装置，其特征在于：

对至少一个像素形成一个所述接触孔。

12.一种涂敷方法，其特征在于，包括：

使用基片保持部保持基片的保持步骤，其中所述基片包括：与多个副像素对应地设置的多个像素电极；堤，其覆盖所述多个像素电极并且形成有多个使至少一个所述像素电极露出的开口部；和用于将对置电极与辅助电极连接的多个接触孔，其中所述对置电极与所述多个像素电极相对；

移动步骤，其使排出单元和所述基片保持部沿与所述第一方向交叉的第二方向相对地移动，其中所述排出单元包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头；和

排出步骤，其从所述喷嘴向由所述基片保持部保持的所述基片的所述开口部排出有机材料的液滴，

对每2个以上的所述副像素形成所述接触孔。

13.一种有机EL显示器，其特征在于，包括：

在基片上与多个副像素对应地设置的多个像素电极；

堤，其覆盖所述多个像素电极并且形成有多个使至少一个所述像素电极露出的开口部；

与所述多个像素电极相对的对置电极；

在所述开口部设置于所述像素电极与所述对置电极之间的有机EL层；

辅助电极；和

用于将所述对置电极与所述辅助电极连接的多个接触孔，

对每2个以上的所述副像素形成所述接触孔。