[发明专利]涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器在审

申请号：	201910337488.X	申请日：	2019-04-25
公开（公告）号：	CN110444696A	公开（公告）日：	2019-11-12
发明（设计）人：	篠木武虎;林辉幸;大岛澄美	申请（专利权）人：	东京毅力科创株式会社
主分类号：	H01L51/56	分类号：	H01L51/56;H01L27/32;B41J3/407;B41J2/21
代理公司：	北京尚诚知识产权代理有限公司 11322	代理人：	龙淳;刘芃茜
地址：	日本***	国省代码：	日本;JP
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	排出单元像素电极基片保持部接触孔有机EL显示器对置电极辅助电极涂敷装置移动机构喷嘴副像素开口部喷头方向交叉方向排列方向相对有机材料电连接最优化排出涂敷液滴移动覆盖
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【说明书】：

本发明提供辅助电极用的接触孔的数量最优化的有机EL显示器。本发明的一个方式的涂敷装置包括基片保持部、排出单元和移动机构。排出单元包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头。移动机构使排出单元和基片保持部沿与第一方向交叉的第二方向相对地移动。基片包括：与多个副像素对应地设置的多个像素电极；堤，其覆盖多个像素电极并且形成有多个使至少一个像素电极露出的开口部；和用于将对置电极与辅助电极电连接的多个接触孔，其中该对置电极与多个像素电极相对。对每2个以上的副像素形成接触孔。排出单元从喷嘴向由基片保持部保持的基片的开口部排出有机材料的液滴。

技术领域

本发明涉及涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器。

背景技术

使用有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)的有机EL显示器，除了薄型轻量且电力消耗低之外，还具有在响应速度、视场角、对比度方面优越之处。有机发光二极管通过由像素电极和对置电极夹着包含发光层的有机EL层而构成。

在专利文献1中公开了一种技术，其将由低电阻率的材料形成的辅助电极与对置电极连接，从而抑制与有机EL显示器的大画面化相伴而来的配线电阻的增加。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2016-197240号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供辅助电极用的接触孔的数量最优化的有机EL显示器。

用于解决技术问题的技术手段

本发明的一方式的涂敷装置包括基片保持部、排出单元和移动机构。基片保持部保持基片。排出单元包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头。移动机构使排出单元和基片保持部沿与第一方向交叉的第二方向相对地移动。基片包括：与多个副像素对应地设置的多个像素电极；堤，其覆盖多个像素电极并且形成有多个使至少一个像素电极露出的开口部；和用于将对置电极与辅助电极连接的多个接触孔，其中对置电极与多个像素电极相对。对每2个以上的副像素形成接触孔。排出单元从喷嘴向由基片保持部保持的基片的开口部排出有机材料的液滴。

发明效果

依照本发明，能够提供辅助电极用的接触孔的数量最优化的有机EL显示器。

附图说明

图1是表示对每个副像素形成有辅助电极用的接触孔的有机EL显示器的结构例的示意性的俯视图。

图2是表示实施方式的有机EL显示器的电路结构的一例的图。

图3是实施方式的有机EL显示器的示意性的俯视图。

图4是图3中的IV-IV线截面图。

图5是图3中的V-V线截面图。

图6是表示实施方式的有机发光二极管的制造方法的流程图。

图7是表示实施方式的基片处理系统的结构的示意性的俯视图。

图8是表示实施方式的涂敷装置的结构的示意性的俯视图。

图9是表示实施方式的涂敷装置的结构的示意性的侧视图。