[发明专利]多端点电感器及多端点电感器形成方法

权利要求书

1.一种多端点电感器，其特征在于，包括：

一半导体基底；

一互连结构，设置在该半导体基底上，该互连结构具有多个金属层；

一第一磁性层，设置在该互连结构的一最上表面上；

一导线，设置在该第一磁性层上；

一第一输入/输出接合结构，在一第一位置从该导线分岔；

一第二输入/输出接合结构，在一第二位置从该导线分岔，该第二位置与该第一位置间隔开；以及

一第三输入/输出接合结构，该第三输入/输出接合结构在该第一位置与该第二位置之间的一第三位置从该导线分岔，其中该第三输入/输出接合结构与该第一输入/输出接合结构之间的一连接具有一第一电感，以及该第一输入/输出接合结构与该第二输入/输出接合结构之间的一替代连接具有一第二电感，该第二电感大于该第一电感。

2.根据权利要求1所述的多端点电感器，其特征在于，还包括：

一第一介电层，设置在该导线上；

一第二磁性层，设置在该第一介电层上；

一第二介电层，设置在该第二磁性层上；以及

其中该导线沿着一第一方向以实质上一直线从该第一输入/输出接合结构横向延伸到该第二输入/输出接合结构。

3.根据权利要求2所述的多端点电感器，其特征在于，该第二位置在该第一方向上与该第一磁性层的最外侧壁横向间隔开。

4.根据权利要求2所述的多端点电感器，其特征在于，该第一输入/输出接合结构、该第二输入/输出接合结构及该第三输入/输出接合结构皆从该导线延伸穿过该第二介电层的一最上表面。

5.根据权利要求4所述的多端点电感器，其特征在于，该第一磁性层具有一截断金字塔形状，且其中该导线具有在该第一磁性层上的一第一上表面，该第一上表面位于该导线的一第二上表面上。

6.根据权利要求1所述的多端点电感器，其特征在于，该导线以围绕该第一磁性层的一螺旋图案从该第一输入/输出接合结构连续地延伸到该第二输入/输出接合结构。

7.根据权利要求1所述的多端点电感器，其特征在于，该多端点电感器是排列成阵列的多个多端点电感器中的一个，其中每个多端点电感器彼此间隔开，每个多端点电感器被设置在相同的横向方向上，并且每个多端点电感器彼此实质上相同。

8.一种多端点电感器，其特征在于，包括：

一半导体基底；

一互连结构，设置在该半导体基底上，该互连结构具有多个金属层；

一钝化层，设置在该互连结构的一最上表面上；

一磁性层，设置在该钝化层上；

多个电感器单元，分别包括多个导线，所述多个电感器单元彼此间隔开并设置在该磁性层上，其中一第一电感器单元包括一介电层，该介电层在该第一电感器单元的一第一导线上延伸，并且包括一第一端点及一第二端点，第一端点及该第二端点延伸穿过该介电层以电性连接到该第一电感器单元的该第一导线；以及

一连接结构，设置在该介电层上并具有电性耦接到该第一端点及该第二端点的导电布线，其中该连接结构将所述多个电感器单元中的部分电感器单元彼此电串联，但不是全部的电感器单元。

9.根据权利要求8所述的多端点电感器，其特征在于，该第一端点包括一第一焊料凸块，该第二端点包括一第二焊料凸块，以及该连接结构是具有多个导电布线的印刷电路板，所述多个导电布线将所述多个电感器单元中的多个彼此串联。

10.根据权利要求8所述的多端点电感器，其特征在于，所述多个电感器单元彼此实质上相同。

11.根据权利要求8所述的多端点电感器，其特征在于，该第一电感器单元还包括：

一第三端点，延伸穿过该介电层以电性连接到该第一电感器单元，其中在该第一端点及该第二端点之间测量的一第一电感大于在该第一端点及该第三端点之间测量的一第二电感。