[发明专利]一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构在审
| 申请号： | 201910350766.5 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110144557A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄兴盛;范刚;夏绪干;张绍璞 | 申请（专利权）人： | 厦门阿匹斯智能制造系统有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭锦辉;陈艺琴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市集美区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 架车 托盘机构 自转机构 驱动电机 真空溅射镀膜 链条机构 轨道 连续型 模块化 转架 上表面 下表面 拼接 驱动 | ||
1.一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，其特征在于，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。
2.根据权利要求1所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述传动机构为对夹滚轮摩擦传动机构。
3.根据权利要求1或2所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述轨道上还设置有轨道清理铲。
4.根据权利要求1所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块的上方均设置有托盘机构和侧面挡板，下方移动机构包括有自转链轮、动力连接板、移动轮和到位压块。
5.根据权利要求2所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述对夹滚轮摩擦传动机构包括有弹簧，通过调节弹簧的大小、长短实现所述直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构的平稳运行。
6.根据权利要求1-5之一所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块可根据需要任意组合拼接成转架车。
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