[发明专利]一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构

说明书

本发明公开了一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。

技术领域

本发明涉及一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构。

背景技术

现有技术的直线连续型真空溅射镀膜转架机构在进行真空镀膜时存在如下缺点：挂具掉产品后产品会留在真空炉体内；现有转架采用齿轮齿条传动，运行不稳定；转架驱动电机容易卡死过载、异常停机故障时间长；现有转架维修时间长。因此对于直线连续型真空溅射镀膜的转架机构，其需要解决的问题如下：怎样把掉挂的产品运到炉体外；如何确保转架运行平稳；如何避免电机过载烧坏；如何实现快速维护，减少故障停机时间。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构。

本发明通过以下技术方案来实现：

一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，其特征在于，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。

优选地，所述传动机构为对夹滚轮摩擦传动机构。

优选地，所述轨道上还设置有轨道清理铲。

优选地，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块的上方均设置有托盘机构和侧面挡板，下方移动机构包括有自转链轮、动力连接板、移动轮和到位压块。

优选地，所述对夹滚轮摩擦传动机构包括有弹簧，通过调节弹簧的大小、长短实现所述直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构的平稳运行。

优选地，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块可根据需要任意组合拼接成转架车。

本发明的具有如下有益效果：本发明大大降低设备故障维护时间，只需2H/次；将生产良品效率提高2％；大大节省设备维护成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1是本发明的侧视图。

图2是本发明的立体图。

图3是本发明的主视图。

图4是本发明转架车模块底部的示意图。

图5是图4中A处的放大图。