[发明专利]光罩取放装置

权利要求书

1.一种光罩取放装置，其特征在于，包括：

第一存储区，用于存储待处理光罩；

中转区，用于所述待处理光罩的中转站；

清洁区，用于清洗所述待处理光罩；

第二存储区，用于存储目标光罩；

抓取组件，用于将所述待处理光罩从所述第一存储区取出；

所述待处理光罩经所述抓取组件取出，并运输至所述中转区，以及经所述中转区运输至所述清洁区或者所述第二存储区；

其中，所述中转区位于所述第一存储区、所述第二存储区及所述清洁区的中心位置，以及在竖直方向上，所述清洁区位于所述中转区的下方，所述中转区及所述清洁区共用一竖直轨道；所述中转区内设置可移动固定组件，所述可移动固定组件用于固定所述待处理光罩，以及将所述待处理光罩运输至所述清洁区或者所述第二存储区。

2.根据权利要求1所述的光罩取放装置，其特征在于，所述光罩取放装置包括水平轨道和竖直轨道，所述水平轨道和所述竖直轨道设置于所述光罩取放装置的框架上，所述抓取组件通过所述水平轨道在所述光罩取放装置上水平移动，所述可移动固定组件通过所述水平轨道及所述竖直轨道在所述光罩取放装置上水平及竖直移动。

3.根据权利要求2所述的光罩取放装置，其特征在于，

所述抓取组件与所述水平轨道滑动连接；

所述抓取组件包括可伸缩臂和位于远离所述水平轨道的至少两个抓取夹；

所述抓取组件通过所述可伸缩臂将所述抓取夹传递至预定位置，并通过所述抓取夹将所述待处理光罩从所述第一存储区去除。

4.根据权利要求3所述的光罩取放装置，其特征在于，

所述抓取组件至少包括第一抓取夹和第二抓取夹；

所述第一抓取夹和所述第二抓取夹相对设置，位于所述待处理光罩的两侧；

所述第一抓取夹和所述第二抓取夹内设置有凹槽，所述凹槽的宽度大于所述待处理光罩的厚度。

5.根据权利要求3所述的光罩取放装置，其特征在于，

所述抓取组件还包括连接所述可伸缩臂及所述抓取夹的连接构件，所述连接构件用于控制所述抓取夹在第一方向或第二方向上的间距；

其中，所述第一方向与所述待处理光罩的长边方向平行，所述第二方向与所述待处理光罩的短边方向平行。

6.根据权利要求1所述的光罩取放装置，其特征在于，

所述清洁区内设置有第一清洁构件和第二清洁构件；

所述第一清洁构件用于提供清洁介质；

所述第二清洁构件用于吸收所述清洁介质；

所述第二清洁构件与所述待处理光罩的间距大于所述第一清洁构件与所述待处理光罩的间距。

7.根据权利要求6所述的光罩取放装置，其特征在于，

所述第一清洁构件包括至少一个出气口；

所述第二清洁构件包括至少一个吸气口；

所述出气口的出气方向朝向所述第二清洁构件；

所述吸气口的出气方向朝向所述第一清洁构件。

8.根据权利要求6所述的光罩取放装置，其特征在于，所述第一清洁构件和所述第二清洁构件与所述待处理光罩的长边或短边平行设置；

在所述待处理光罩从所述中转区进入所述清洁区的过程中，所述第一清洁构件和所述第二清洁构件同时对所述待处理光罩进行处理。

9.根据权利要求6所述的光罩取放装置，其特征在于，所述清洁介质包括氮气。