[发明专利]光罩取放装置

说明书

本发明提出了一种光罩取放装置，包括第一存储区，用于存储待处理光罩；中转区，用于所述待处理光罩的中转站；清洁区，用于清洗所述待处理光罩；第二存储区，用于存储目标光罩；抓取组件，用于将所述待处理光罩从所述第一存储区取出；所述待处理光罩经所述抓取组件取出，并运输至所述中转区，以及经所述中转区运输至所述清洁区或者所述第二存储区。本申请设计了一种光罩取放装置，通过控制抓取组件以及可移动固定组件对该待处理光罩进行自动搬运及清洁，避免了因人工的操作而出现损伤。

技术领域

本发明涉及显示领域，特别涉及一种光罩清洁装置。

背景技术

在显示面板的制造需要用光罩曝光，光罩又名掩膜板，是印刻有特定图案的特殊透光材料，光线透过光罩将光罩上的图形印刷到玻璃上。曝光是极其精密的过程，要求生产洁净度极高。光罩表面细微的脏污或杂质都将影响光的透过率，从而造成线宽或膜厚的变化形成瑕疵或Mura，影响批量产品品质。

光罩在储存及搬运中使用的装载容器是光罩盒，通常光罩盒是密封的，可以保护光罩免受撞击损伤或微尘污染。但是在使用光罩时，需要人工进行搬放、及后续的人工清洁，在上述过程中，光罩极易出现损伤。

因此，亟需一种光罩取放装置以解决上述技术问题。

发明内容

本发明提供了一种光罩取放装置，以解决现有光罩易出现损伤的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种光罩取放装置，其包括：

第一存储区，用于存储待处理光罩；

中转区，用于所述待处理光罩的中转站；

清洁区，用于清洗所述待处理光罩；

第二存储区，用于存储目标光罩；

抓取组件，用于将所述待处理光罩从所述第一存储区取出；

所述待处理光罩经所述抓取组件取出，并运输至所述中转区，以及经所述中转区运输至所述清洁区或者所述第二存储区。

在本申请的光罩取放装置中，

所述中转区内设置可移动固定组件；

所述可移动固定组件用于固定所述待处理光罩，以及将所述待处理光罩运输至所述清洁区或者所述第二存储区。

在本申请的光罩取放装置中，

所述光罩取放装置还包括水平轨道和竖直轨道；

所述水平轨道和所述竖直轨道设置于所述光罩取放装置的框架上；

所述抓取组件通过所述水平轨道在所述光罩取放装置上水平移动，所述可移动固定组件通过所述水平轨道及所述竖直轨道在所述光罩取放装置上水平及竖直移动。

在本申请的光罩取放装置中，

所述抓取组件与所述水平轨道滑动连接；

所述抓取组件包括可伸缩臂和位于远离所述水平轨道的至少两个抓取夹；

所述抓取组件通过所述可伸缩臂将所述抓取夹传递至预定位置，并通过所述抓取夹将所述待处理光罩从所述第一存储区去除。

在本申请的光罩取放装置中，

所述抓取组件至少包括第一抓取夹和第二抓取夹；

所述第一抓取夹和所述第二抓取夹相对设置，位于所述待处理光罩的两侧；

所述第一抓取夹和所述第二抓取夹内设置有凹槽，所述凹槽的宽度大于所述待处理光罩的厚度。

在本申请的光罩取放装置中，