[发明专利]一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统，其特征在于，

所述的处理系统包括：收集罐、喷淋塔、液封罐、压滤机给料泵、废液回流泵、废液缓冲罐、水流喷射泵、阻火器、板框式压滤机；

所述的收集罐设置有硅粉残渣、杂质氯硅烷和絮凝剂的进口，所述的收集罐上方设置有所述的喷淋塔，用于将所述的收集罐中生成的酸性气体，输送到所述的喷淋塔进行洗涤；

所述的喷淋塔与所述的液封罐连通，所述的喷淋塔中洗涤后的气体输送到所述的液封罐中进行进一步的洗涤；所述的液封罐顶部设置有新鲜水的进口；

所述的废液缓冲罐设置有新鲜水、碱性液体的进口，所述的废液缓冲罐底部通过所述的废液回流泵与所述的水流喷射泵连通，将所述的废液缓冲罐中的液体，通过所述的废液回流泵输送至所述的水流喷射泵，形成负压；

所述的液封罐与所述的水流喷射泵连通，所述的水流喷射泵中形成的负压，使所述的液封罐中洗涤后的气体输送至所述的水流喷射泵中，与所述的水流喷射泵中的碱性液体进行进一步的洗涤净化；

所述的水流喷射泵与所述的废液缓冲罐连通，所述的水流喷射泵中洗涤后的气体随水流进入所述的废液缓冲罐，气液分离；

所述的废液缓冲罐通过高点放空管与所述的阻火器连接，所述的废液缓冲罐中分离后的气体，通过所述的高点放空管和所述的阻火器安全放空；

所述的收集罐通过所述的压滤机给料泵与所述的板框式压滤机连通，所述的收集罐中的液体通过所述的压滤机给料泵，输送至所述的板框式压滤机进行压滤。

2.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的收集罐的内部设置有搅拌器。

3.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的废液缓冲罐的内部设置有搅拌器。

4.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的液封罐与所述的收集罐连通，所述的液封罐洗涤气体后的液体可以输送到所述的收集罐中。

5.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的收集罐通过泵与所述的喷淋塔连通，所述的收集罐中的液体过滤后，通过泵输送至所述的喷淋塔用于洗涤气体。

6.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的废液缓冲罐底部通过所述的废液回流泵与所述的喷淋塔连通，将所述的废液缓冲罐中的液体，通过所述的废液回流泵输送至所述的喷淋塔，用于洗涤气体。

7.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的板框式压滤机通过泵与所述的喷淋塔连通，所述的板框式压滤机压滤后产生的滤液，可以输送至所述的喷淋塔中，用于洗涤气体。

8.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

所述的板框式压滤机与所述的废液缓冲罐连通，所述的板框式压滤机压滤后产生的滤液，可以输送至所述的废液缓冲罐。

9.一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

将硅渣排放系统的硅粉残渣和杂质氯硅烷进入装有碱性液体的收集罐进行反应，有酸性气体生成；

将所述的酸性气体依次用碱性液体或新鲜水、新鲜水、碱性液体洗涤净化后，经高点放空管安全放空；

将所述的收集罐内反应后的液体过滤，得滤液和滤饼；滤饼干燥后外运填埋处理。

10.根据权利要求9所述的处理方法，其特征在于，

所述的过滤前，向所述的收集罐内反应后的液体加入絮凝剂，进行絮凝处理。