[发明专利]一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法

说明书

本发明为一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法。一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统，包括：收集罐、喷淋塔、液封罐、压滤机给料泵、废液回流泵、废液缓冲罐、水流喷射泵、阻火器、板框式压滤机；所述的收集罐上方设置有所述的喷淋塔；所述的喷淋塔与所述的液封罐连通；所述的废液缓冲罐底部通过所述的废液回流泵与所述的水流喷射泵连通；所述的液封罐与所述的水流喷射泵连通；所述的水流喷射泵与所述的废液缓冲罐连通；所述的收集罐通过所述的压滤机给料泵与所述的板框式压滤机连通。本发明所述的一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法，解决排放过程中环境污染问题和劳动强度大的问题。

技术领域

本发明具体涉及一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法。

背景技术

无论是传统的三氯氢硅生产装置，还是新兴的冷氢化三氯氢硅生产装置，硅粉都是不可缺少的原料之一。在反应器内，硅粉借助原料气的动力达到沸腾状态，以达到充分反应的目的。随着反应的进行，硅粉粒度不断减小，以致形成超细硅粉，在未反应完全时，就被合成气带出了合成炉。因此合成气中的硅粉残渣必须经过除尘净化。合成气的除尘方法有干法除尘和湿法除尘。

干法除尘原理是利用硅粉残渣的重力沉降特性经过一系列沉降器、旋风分离器、过滤器、冷凝器后达到除尘目的。湿法除尘是利用氯硅烷的互溶性，用低温四氯化硅对合成气进行急冷洗涤，将合成气中的硅粉残渣及高沸物杂质洗涤下来。无论是干法除尘还是湿法除尘，硅粉残渣内都含有少量的氯硅烷、高沸物杂质，必须经过处理后才能直接外排。

传统的排放方式有：

在干法除尘中，一种处理方法是将截流下来的硅粉杂质直接排出系统，然后人工袋装外运处理。由于是含有少量氯硅烷的超细硅粉残渣，所以操作强度大，大量的粉尘容易散发至空气中，污染环境，且包装好的硅粉残渣容易潮解、燃烧，造成火灾事故。另一种方法是通过管道，用气体输送的方式将硅粉残渣排出系统后去露天水封池，该法简单易于操作，但由于置换不可能完全，硅粉残渣内含有少量的氯硅烷和高沸物杂质，氯硅烷和高沸物杂质遇水反应生成大量的氯化氢气体和氢气，散发到空气中，腐蚀和污染周边环境，并且后期打捞含水硅渣劳动强度大。

湿法除尘截流下来的硅粉残渣排放方式与干法除尘中第二种硅粉残渣排放方式相类似。

有鉴于此，本发明提出一种新的三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理方法，可彻底解决硅粉残渣排放造成的环境污染问题，及劳动强度大的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统，主要针对以上排放方式的缺点和硅粉残渣自生的特性，着重解决硅粉残渣排放过程中环境污染问题和劳动强度大的问题；且该处理系统的利用率高。

为了实现上述目的，所采用的技术方案为：

一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统，所述的处理系统包括：收集罐、喷淋塔、液封罐、压滤机给料泵、废液回流泵、废液缓冲罐、水流喷射泵、阻火器、板框式压滤机；

所述的收集罐设置有硅粉残渣、杂质氯硅烷和絮凝剂的进口，所述的收集罐上方设置有所述的喷淋塔，用于将所述的收集罐中生成的酸性气体，输送到所述的喷淋塔进行洗涤；

所述的喷淋塔与所述的液封罐连通，所述的喷淋塔中洗涤后的气体输送到所述的液封罐中进行进一步的洗涤；所述的液封罐顶部设置有新鲜水的进口；

所述的废液缓冲罐设置有新鲜水、碱性液体的进口，所述的废液缓冲罐底部通过所述的废液回流泵与所述的水流喷射泵连通，将所述的废液缓冲罐中的液体，通过所述的废液回流泵输送至所述的水流喷射泵，形成负压；

所述的液封罐与所述的水流喷射泵连通，所述的水流喷射泵中形成的负压，使所述的液封罐中洗涤后的气体输送至所述的水流喷射泵中，与所述的水流喷射泵中的碱性液体进行进一步的洗涤净化；