[发明专利]用于跟踪显微镜样品的装置和方法在审
申请号: | 201910353504.4 | 申请日: | 2019-04-28 |
公开(公告)号: | CN110444456A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | W.伯杰;S.迪默 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26;G02B21/34 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品载体 显微镜系统 容纳 显微镜样品 载体标识符 单独样品 容纳装置 跟踪 取向 通信 检查 | ||
1.一种用于容纳样品(3,80,812)以便在显微镜系统(85,88,801)中进行检查或处理的样品载体(10,42,45,50,813),
其中,该样品载体(10,42,45,50,813)可容纳在容纳装置(12)中;
并且该样品载体(10,42,45,50,813)具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统(85,88,801)通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统(85,88,801),使得容纳在该样品载体(10,42,45,50,813)上的样品(3,80,812)是可跟踪的。
2.根据权利要求1所述的样品载体(10,42,45,50,813),该样品载体被设计成采取相对于该容纳装置(12)的某个限定取向,该样品载体以该限定取向容纳在该容纳装置(12)中。
3.根据权利要求1或2所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体(10,42,45,50,813)是使用半导体技术制造的。
4.根据权利要求3所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体(10,42,45,50,813)被构造成硅片。
5.根据权利要求1或2所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体是使用印刷电路板技术制造的。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体(10,42,45,50,813)被构造成通过以下数据传输方法之一与该显微镜系统通信:电接触、电容或电感耦合、RFID传输、磁性或光学传输。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体(10,42,45,50,813)包括存储空间,使得信息能电子地写入该样品载体(10,42,45,50,813)中。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体(10,42,45,50,813)的表面具有导电涂层。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的样品载体(10,42,45,50,813),其中,该样品载体(10,42,45,50,813)包括附加标识符能够施加于其上的装置。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的样品载体(10,42,45,50,813),该样品载体设计成容纳在样品固持器(19,51,84,87,814)的容纳装置(12)中。
11.一种样品固持器(19,51,84,87,814),该样品固持器用于容纳显微镜样品的样品载体(10,42,45,50,813),
其中,该样品固持器(19,51,84,87,814)包括容纳装置(12),样品载体(10,42,45,50,813)可容纳在该容纳装置中并且该容纳装置被设计成在相对于该样品固持器(19,51,84,87,814)的某个限定取向上固持该样品载体(10,42,45,50,813),
并且该容纳装置(12)具有单独位置标识符;
并且该样品载体(10,42,45,50,813)具有单独样品载体标识符;
并且该样品固持器(19,51,84,87,814)此外被设计成与该显微镜系统(85,88,801)和容纳的样品载体(10,42,45,50,813)通信并且在该过程中传送该单独位置标识符以及该样品载体(10,42,45,50,813)的单独样品载体标识符,使得容纳在该样品载体(10,42,45,50,813)上的样品(3,80,812)是可跟踪的。
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