[发明专利]用于跟踪显微镜样品的装置和方法

说明书

本发明涉及一种用于容纳显微镜样品以便在显微镜系统中进行检查或处理的样品载体，其中，该样品载体可容纳在容纳装置中，使得处于容纳状态的样品载体采取相对于该容纳装置的某个限定取向。该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统，使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。

技术领域

本发明涉及一种用于容纳显微镜样品的样品载体、并且涉及一种相关容纳装置。样品载体和容纳装置配合，使得能够跟踪各个样品。容纳装置可以是样品固持器的一部分或旨在用于检查或处理样品的显微镜系统的一部分。此类显微镜系统可以是例如电子显微镜、离子显微镜、光学显微镜或X射线显微镜。此外，本发明涉及一种用于跟踪显微镜样品的方法。

背景技术

在借助于例如扫描电子显微镜(SEM)的显微镜系统进行样品检查期间，经常需要更换待检查的样品。也就是说，样品被引入显微镜系统并且再次从显微镜系统中移除。

为了实现样品更换，样品通常借助于包括样品载体和样品固持器的由两部分构成的系统被固持。样品直接容纳在样品载体上。出于这种目的，样品例如粘性粘接到样品载体上。上面固定有样品的样品载体接着被安装到样品固持器上。样品固持器通常可以容纳多个样品载体，这使样品更换进一步简化并且加快。样品固持器通常通过速动关闭而被固持在显微镜载物台上，使得该样品固持器可以简单并且快速地安装上和拆卸下。各种设计的样品固持器可供用于不同类型的显微镜和多种类型的样品。

图1以截面图示出了如何以已知方式将用于在粒子束显微镜(在本实例中为SEM)中进行检查的样品3固持到显微镜的物镜2下方。样品3通过导电粘合剂层4被固定到样品载体(桩)5上。已知的样品载体5通常是旋转对称设计的并且包括圆柱形连接件。连接件借助于螺钉连接被固持在样品固持器7中的圆形开口6内。在这种情况下，样品载体5在插入开口6中时通常可以绕其纵向轴线随意旋转，使得所施加的样品3相对于样品固持器7的精确取向是随机选择的并且是不可再现的。

装载有一个样品载体5或多个样品载体的样品固持器7通过燕尾榫8安装到显微镜载物台9上。显微镜载物台9通常是可移动的，使得可以移动显微镜载物台9以及其上安装的样品固持器7。以这种方式，样品3可以移动并且定位成在物镜2正下方。样品3通常被定位成使其与物镜2的光轴1交叉并且位于物镜2的焦点区域中。接着可以通过显微镜系统对样品3进行分析。

在得到检查结论之后，经分析的样品通常从显微镜系统中移除并且从样品固持器中取出以便将这些样品与样品载体一起储存在储存系统中。如果之后打算在显微镜系统中再次分析样品，将出现以下问题：

样品相对于样品固持器的取向没有维持并且因而是未知的。几乎不知道样品之前在哪个样品固持器中以及在样品固持器上的哪个容纳位置上进行了检查。这使得难以再次找到之前进行检查的样品部位。此外，显微镜系统不能自动地再次识别样品，并且因此使用者必须进行干预以便手动地将关于样品身份的信息传送到显微镜系统。因此，关于同一个样品的数据，该数据虽然已经获得，但是在不同的工作会话或使用不同显微镜系统期间仅能困难地并且仅利用费力的手动干预才可以整理该数据并使其关联。

此外，这些缺点使得存在样品混淆不清的永久风险。而且，特别是如果打算在更新的检查期间使用不同设计的样品固持器，那么难以再次找到已经检查过的样品部位(感兴趣区域，ROI)。无论如何，使用者不仅在第一次检查中，还要在所有之后的检查中手动地使样品的数据可用。

因此，期望能够以自动化方式识别并且重新识别显微镜样品并且更容易再次找到样品的感兴趣区域(ROI)。

相关现有技术的简要描述

对于电子显微镜法，存在许多不同设计的样品固持器。其中一些具有复杂几何结构并且因此相应地昂贵。通常，常规样品固持器的尺寸和几何结构是充分已知的，使得可以可靠地操纵具有固持在显微镜系统中的样品固持器上的固定样品的样品载体。