[发明专利]一种原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构在审
| 申请号： | 201910355192.0 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110243274A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘美华;王东爱;王怀文;石岩;刘冰;张文刚 | 申请（专利权）人： | 天津商业大学;天津乾宇超硬科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 徐金生 |
| 地址： | 300134 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 厚度变化量 磨损 薄膜材料 立柱 位移传感器 测量薄膜 微量磨损 磨损量 测量 薄膜材料表面 耐磨性 被测材料 比较评价 垂直分布 摩擦性能 耐磨性能 铰接 探针 左端 | ||
1.一种原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，包括垂直分布的立柱(7)；
立柱(7)的上部，与一根水平轴(3)的右端相铰接；
水平轴(3)能够围绕立柱(7)的上部，在水平方向进行旋转运动；
水平轴(3)的左端固定连接有一个位移传感器(1)；
位移传感器(1)，用于对放置在其正下方的薄膜材料，在磨损前和磨损后分别进行测量，获得薄膜材料表面在磨损前后的厚度变化量，该厚度变化量作为薄膜材料的磨损量。
2.如权利要求1所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，立柱(7)的底部外壁，套装有一个底座(5)；
底座(5)的四周边缘，通过等间隔设置的多个螺钉，与水平分布的工作台(10)固定连接。
3.如权利要求1所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，水平轴(3)的左端，通过第一装卡机构(2)与位移传感器(1)固定连接；
第一装卡机构(2)的后端具有横向分布的第一通孔；
水平轴(3)的左端插入到该第一通孔中；
第一装卡机构(2)的前端具有垂直分布的第二通孔；
位移传感器(1)插入在第二通孔中。
4.如权利要求3所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，
第一装卡机构(2)的正面，还开有一条垂直分布的第一豁口(11)；
第一豁口(11)的后端与第二通孔的前侧相连通；
第一豁口(11)的左右两侧中部，通过一根螺钉固定连接在一起。
5.如权利要求3所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，位移传感器(1)中部的直径，大于第二通孔的直径。
6.如权利要求1所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，立柱(7)的上部通过第二装卡机构(6)与水平轴(3)的右端相铰接；
第二装卡机构(6)的后端具有垂直分布的第三通孔；
立柱(7)的上部插入到该第三通孔中；
第二装卡机构(6)的前端具有横向分布的第四通孔；
水平轴(3)的右端插入在第四通孔中。
7.如权利要求6所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，第二装卡机构(6)的正面，还开有一条横向分布的第二豁口(12)；
第二豁口(12)的后端与第四通孔的前侧相连通；
第二豁口(12)的上下两侧中部，通过一根螺钉固定连接在一起。
8.如权利要求1至7中任一项所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，位移传感器(1)为垂直分布的接触式位移传感器，其底面具有用于与薄膜材料进行接触的探针(4)。
9.如权利要求1至8中任一项所述的原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构，其特征在于，位移传感器(1)还通过信号线与一个数据采集器相连接；
数据采集器，用于采集并显示位移传感器(1)所采集获得的薄膜材料在磨损前后的厚度变化量。
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