[发明专利]显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201910361334.4 | 申请日: | 2019-04-30 |
公开(公告)号: | CN110165074B | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 郭林山 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 430074 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一设置有发光器件的基板;
形成第一无机材料层;
薄化所述第一无机材料层,得到第一无机层;
形成第二无机层;
形成第三层;所述第三层位于第一区域中,所述显示面板包括预设的显示区和非显示区,所述显示区位于所述第一区域内;
复用所述第三层作为第二掩膜版,使用干刻法对所述第一无机层和所述第二无机层图案化、同时对所述第三层进行薄化,保留第一区域中的第一无机层,得到第一无机封装层;保留所述第一区域中的第二无机层,得到第二无机封装层;对所述第三层进行薄化,得到第三封装层。
2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述第三层的材料为无机材料。
3.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述形成第三层进一步为:
形成第三材料层;
使用第一掩膜版对所述第三材料层图案化,保留所述第一区域中的第三材料层,得到第三层。
4.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述第三层的材料为有机材料。
5.根据权利要求4所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述形成第三层进一步为:
使用喷墨打印技术在所述第一区域打印有机材料以形成所述第三层。
6.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,还包括:
所述形成第三层之前,包括:
形成第三无机材料层;
薄化所述第三无机材料层,得到第三无机层;
所述复用所述第三层作为第二掩膜版,使用干刻法对所述第一无机层和所述第二无机层图案化、同时对所述第三层进行薄化进一步为:
复用所述第三层作为第二掩膜版,使用干刻法对所述第三无机层、所述第一无机层和所述第二无机层图案化、同时对所述第三层进行薄化;保留所述第一区域中的第三无机层,得到第三无机封装层。
7.根据权利要求6所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述第三层的材料为有机材料;
所述制作方法还包括:
在所述第三层背离所述基板的一侧形成第四无机封装层。
8.根据权利要求6所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述第三层的材料为无机材料;
所述形成第三层之前,还包括:
使用喷墨打印技术在所述第一区域打印有机材料以形成第一有机封装层,所述第一有机封装层位于所述第三无机封装层背离所述基板的一侧表面。
9.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述非显示区包括绑定区;
所述基板还包括多个焊盘,所述多个焊盘位于所述绑定区;
所述绑定区位于所述第一区域以外。
10.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述第一无机封装层的材料包括:氮化硅和/或氧化硅;
所述第二无机封装层的材料包括:氧化铝。
11.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述第三层的材料包括:氮氧化硅。
12.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,
所述基板还包括至少一个阻挡部,所述阻挡部为环形且围绕所述发光器件设置,所述阻挡部位于所述第一区域内部。
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