[发明专利]显示面板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种显示面板及其制作方法，属于显示技术领域，包括：提供一设置有发光器件的基板；形成第一无机材料层；薄化第一无机材料层，得到第一无机层；形成第二无机层；形成第三层；第三层位于第一区域中；复用第三层作为第二掩膜版，使用干刻法对第一无机层和第二无机层图案化、同时对第三层进行薄化，保留第一区域中的第一无机层，得到第一无机封装层；保留第一区域中的第二无机层，得到第二无机封装层；对第三层进行薄化，得到第三封装层。相对于现有技术，可以节省掩膜版的数量，有利于降低成本。并且提高显示面板的耐弯折性能。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种显示面板及其制作方法。

背景技术

显示技术自出现至今，技术发展非常迅速，先后出现了阴极射线管技术(CRT)、等离子体显示技术(PDP)、液晶显示技术(LCD)、以及最新的有机发光显示技术(OLED)、微型二极管显示技术(micro LED)。

随着社会的发展和人类对物质生活需求的不断提高，当今显示技术正在朝着窄边框化、高对比度、高分辨力、全彩色显示、低功耗、可靠性高、长寿命以及薄而轻的方向快速迈进，而柔性显示屏(软屏)技术的研究也在不断的进步和深入。与传统的平板显示器不同，显示面板若采用柔性材料作为基板可现实柔性显示，从而能够打造梦幻般的视觉效果。柔性显示面板凭借其可弯曲性能可实现多领域应用，例如可卷曲显示装置、柔性可穿戴设备、可折叠显示器等。

现有技术提供的一种柔性显示屏中，使用薄膜封装技术对显示屏进行封装。现有技术提供的薄膜封装技术制作的封装层中，无机封装层的厚度较大，大概为1μm左右，弯折过程中出现的裂纹构成水氧入侵路径，会导致封装失效，降低显示屏的显示品质和可靠性。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种显示面板及其制作方法，以解决现有技术提出的问题。

一方面，本发明提供了一种显示面板的制作方法，包括：提供一设置有发光器件的基板；形成第一无机材料层；薄化第一无机材料层，得到第一无机层；形成第二无机层；形成第三层；第三层位于第一区域中；复用第三层作为第二掩膜版，使用干刻法对第一无机层和第二无机层图案化、同时对第三层进行薄化，保留第一区域中的第一无机层，得到第一无机封装层；保留第一区域中的第二无机层，得到第二无机封装层；对第三层进行薄化，得到第三封装层。

另一方面，本发明提供了一种显示面板，包括：设置有发光器件的基板；设置在发光器件一侧的第一无机封装层，第一无机封装层所在的区域为第一区域；设置在第一无机封装层背离发光器件一侧的第二无机封装层，第二无机封装层位于第一区域；设置在第二无机封装层背离发光器件一侧的第三封装层，第三封装层位于第一区域；第三封装层的竖截面包括弧形坡；弧形坡的一端和第一区域的边界齐平，沿着第一区域的边界朝向第一区域内部的方向，弧形坡位置的第三封装层的厚度逐渐增加。

与现有技术相比，本发明提供的显示面板及其制作方法，至少实现了如下的有益效果：

一方面，对第一无机材料层进行薄化，得到第一无机层，较薄的第一无机层有利于提高其弯折性能，使其不易出现裂纹。

另一方面，在第一区域中形成第三层，复用第三层作为第二掩膜版，对于第一无机层和第二无机层进行刻蚀，保留第一区域中的第一无机层，得到第一无机封装层，保留第一区域中的第二无机层，得到第二无机封装层。可以节省掩膜版的数量，有利于降低成本。

并且，又一方面，在使用干刻法对第一无机层和第二无机层图案化的同时，刻蚀气体对于第三层进行薄化，减薄后得到第三封装层。较薄的第三封装层有利于提高其弯折性能，使其不易出现裂纹。

本发明提供的显示面板，各个封装层的厚度较薄，使显示面板具有良好的耐弯折性能，提高了显示品质和可靠性。

当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。