[发明专利]电路封装方法及封装结构有效
申请号: | 201910362608.1 | 申请日: | 2019-04-30 |
公开(公告)号: | CN110112076B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 邓世雄;陈书宾;孔令甲;任玉兴;周彪;王磊;袁彪;汤晓东 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 陆林生 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电路 封装 方法 结构 | ||
1.一种电路封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
将功能电路(60)的输入端连接输入接口(30),输出端连接输出接口(40);
将功能电路(60)置入第一封装体(10)中,并使输入接口(30)的外端和输出接口(40)的外端露出所述第一封装体(10);
充入稳定性气体后将所述第一封装体(10)密封;
将所述第一封装体(10)装入并固定于第二封装体(20),并将所述第二封装体(20)封闭,且使输入接口(30)的外端和输出接口(40)的外端同轴并反向设置且露出所述第二封装体(20);
将所述第一封装体(10)装入并固定于第二封装体(20)并将所述第二封装体(20)封闭的步骤,还包括:
所述第一封装体(10)外部设有外螺纹(11),在所述第二封装体(20)内部设有的、用于与所述外螺纹配合的内螺纹(21)上涂布导热剂;
将所述第一封装体(10)通过螺纹结构旋入所述第二封装体(20)中;
在所述第一封装体(10)和所述第二封装体(20)之间填充导热填充物。
2.如权利要求1所述的电路封装方法,其特征在于,充入稳定性气体后将所述第一封装体(10)密封的步骤,还包括:
向所述第一封装体(10)内加压;
将所述第一封装体(10)装入并固定于第二封装体(20)的步骤还包括:
将所述第二封装体(20)密封,并对所述第二封装体(20)减压,使第一封装体(10)内外产生压强差。
3.如权利要求1所述的电路封装方法,其特征在于:所述第一封装体(10)为铝盒,所述功能电路(60)导热性固定于所述铝盒内,所述稳定性气体为氮气,所述铝盒采用激光焊接进行气密性密封。
4.一种利用如权利要求1-3任一项所述的电路封装方法进行封装的电路封装结构,其特征在于,包括:
第一封装体(10),用于密封封装功能电路(60);
第二封装体(20),内部设有用于装入所述第一封装体(10)的空腔;
输入接口(30),一端与所述功能电路(60)的输入端连接,另一端穿过所述第一封装体(10)和所述第二封装体(20)延伸至所述第二封装体(20)的一端外部;以及
输出接口(40),一端与所述功能电路(60)的输出端连接,另一端穿过所述第一封装体(10)和所述第二封装体(20)延伸至所述第二封装体(20)的另一端外部;
所述输入接口(30)和所述输出接口(40)同轴并反向设置。
5.如权利要求4所述的电路封装结构,其特征在于:所述第一封装体(10)外部设有外螺纹(11),所述第二封装体(20)内部设有与所述外螺纹配合的内螺纹(21);所述外螺纹(11)设于所述第一封装体(10)的中部或一端部,所述第一封装体(10)的另一端部横截面尺寸小于所述第二封装体(20)内部空腔的横截面尺寸;所述第一封装体(10)外部设有不与所述内螺纹(21)接触的缺口槽(12)。
6.如权利要求4所述的电路封装结构,其特征在于:所述第二封装体(20)两端均设有用于与使用设备连接的螺纹接口,所述输入接口(30)包括两端分别用于与所述功能电路(60)的输入端和所述第二封装体(20)的一端连接的输入针,所述输出接口(40)包括两端分别用于与所述功能电路(60)的输出端和所述第二封装体(20)的另一端连接的输出针,且所述输入针与所述输出针的轴线重合。
7.如权利要求6所述的电路封装结构,其特征在于,所述第二封装体(20)包括:
套筒体(22),内部设有所述空腔;
第一封堵接头(23),一端用于与使用设备连接,另一端用于与所述套筒体(22)一端连接,中部设有用于所述输入接口(30)穿过的第一通孔;以及
第二封堵接头(24),一端用于与使用设备连接,另一端用于与所述套筒体(22)另一端连接,中部设有用于所述输出接口(40)穿过的第二通孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造