[发明专利]一种X射线波带片的制备方法

说明书

本发明公开一种X射线波带片的制备方法，包括：将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝固定于铜皮上，所述细丝的侧表面与所述铜皮接触；将所述铜皮固定于衬底上；将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片；切割所述薄片的与衬底接触的部分，使所述薄片完全脱离所述衬底；将所述薄片移动并固定到金属载网上；将所述金属载网上的薄片抛光成所需厚度。本发明能够确保波带片牢固固定于金属载网上，可以有效防止波带片从金属载网上脱落。

技术领域

本发明涉及波带片制备领域，特别是涉及一种X射线波带片的制备方法。

背景技术

X射线波长在0.01-10nm之间，利用X射线波段的显微技术可用于物质的无损检测和三维显微成像，具有对厚样品进行纳米分辨成像的潜力。

波带片是X射线显微成像技术的核心元件，目前，存在多层膜法制备X射线波带片的技术，即通过溅射的方法在旋转的细丝上交替沉积两种材料，然后将其切成薄片，再将薄片抛光、减薄到所要求的厚度。采用该工艺制备的X射线波带片是一个直径为几微米到几百微米、厚度一般为亚10微米的圆形薄片，现有的波带片固定方法中一般是采用聚焦离子束沉积工艺将波带片与载网等固定在一起。但由于波带片为圆形结构，波带片仅在与载网相切的部分相接触，接触面非常小，固定后的粘合力较弱，难于抵抗稍强的冲击力，在操作过程中很容易被损坏或丢失。

发明内容

本发明的目的是提供一种X射线波带片的制备方法，增强波带片和金属载网之间的粘合力，使得波带片能够很稳固地置于金属载网之上，提高波带片抵抗冲击力的能力。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种X射线波带片的制备方法，包括：

将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝固定于铜皮上，所述细丝的侧表面与所述铜皮接触；

将载有所述细丝的铜皮固定于衬底上；

将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片；

切割所述薄片与衬底接触的部分，使所述薄片完全脱离所述衬底；

将所述薄片移动并固定到金属载网上；

将所述金属载网上的薄片抛光成所需厚度。

可选的，所述细丝通过液体碳胶固定于所述铜皮上。

可选的，所述铜皮厚度小于10微米。

可选的，所述铜皮通过导电胶固定于所述衬底上。

可选的，采用聚焦离子束将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片。

可选的，采用聚焦离子束切割所述薄片的与衬底接触的部分，使所述薄片完全脱离所述衬底。

可选的，将机械臂固定于所述薄片外表面并采用聚焦离子束切割所述薄片的与衬底接触的部分，使所述薄片完全脱离所述衬底。

可选的，使用机械臂将所述薄片移动到金属载网上，采用聚焦离子束沉积技术将所述薄片固定到所述金属载网上，然后移去所述机械臂。

可选的，采用聚焦离子束将所述金属载网上的薄片抛光成所需厚度。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

本发明将波带片与铜皮之间通过液体碳胶相粘合，粘合面积和粘合力远大于波带片与金属载网直接连接，且铜皮与金属载网的接触是平面接触，接触面积较大，使得波带片能够很稳固地置于金属载网之上，能够抵抗较强的冲击力，另外，附带上铜皮的波带片尺寸已经在几个毫米量级，完全能够凭借宏观的手段进行移动和安装，能够有效提高安装效率和安装精确度。

附图说明