[发明专利]一种键合合金丝及其制备和应用有效
申请号: | 201910368456.6 | 申请日: | 2019-05-05 |
公开(公告)号: | CN109930020B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 赵义东;薛子夜;谢海涛 | 申请(专利权)人: | 浙江佳博科技股份有限公司 |
主分类号: | C22C5/06 | 分类号: | C22C5/06;C22F1/14;C22F1/02;C21D9/52;H01L23/49;H01L21/48 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 李静 |
地址: | 325600 浙江省温州市乐清*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合金丝 及其 制备 应用 | ||
1.一种合金组合物,其特征在于,以所述合金组合物的总质量计,包括:银92%~99.3wt%,钯0.5%~4wt%,铜0.1-2wt%,金0.1-2wt%,镓20-200PPM,铈20-200PPM,铂20-200PPM,镧20-200PPM;各元素的含量之和为100%。
2.根据权利要求1所述的合金组合物,其特征在于,银94%~98wt%,钯1%~3wt%,铜0.5-1.5wt%,金0.5-1.5wt%,镓100-150PPM,铈100-150PPM,铂100-150PPM,镧100-150PPM。
3.根据权利要求1所述的合金组合物,其特征在于,银95%,钯3%,铜1%,金1%,镓100PPM,铈100PPM,铂100PPM,镧100PPM。
4.根据权利要求1所述的合金组合物,其特征在于,所述银、铜和金的纯度均为99.99%。
5.一种合金丝,其特征在于,所述合金丝截面直径≤50μm,由权利要求1-4任一项所述的合金组合物制备而成。
6.一种权利要求5所述合金丝的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
熔铸步骤:将银基材及其他合金元素组成的母材进行熔铸制成棒材;
拉丝步骤:将所述棒材进行拉丝加工,拉制到所需尺寸的微细丝材;
退火步骤:将所述微细丝材进行退火工艺处理即得所需键合丝。
7.根据权利要求6所述的合金丝的制备方法,其特征在于,所述退火工艺在氢氮混合气体保护下,退火温度为450-550℃,退火速度为55-65米/分钟。
8.根据权利要求7所述的合金丝的制备方法,其特征在于,所述氢氮混合气体中氢气和氮气的体积比为1:19。
9.一种键合合金丝,其特征在于,由包括权利要求1-4任一项所述合金组合物制备而成或由权利要求5所述合金丝制成或由权利要求6-8任一项所述合金丝制备方法制备而成。
10.一种权利要求1-4任一项所述合金组合物制备而成的合金丝或由权利要求5所述合金丝或由权利要求6-8任一项所述合金丝制备方法制备而成的合金丝或由权利要求9所述键合合金丝在集成电路封装领域的应用。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江佳博科技股份有限公司,未经浙江佳博科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910368456.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。