[发明专利]一种LED图像全自动计数统计系统有效

专利信息
申请号: 201910368743.7 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN110085709B 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 王想实 申请(专利权)人: 无锡职业技术学院
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/67;G06T7/00;G06T7/136;G06T7/155
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂启新
地址: 214121 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 图像 全自动 计数 统计 系统
【权利要求书】:

1.一种LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,包括:拾片机构、计数检测机构、打印贴标机构、晶圆片卸载机构;

所述拾片机构用于将叠放整齐的带离型纸的晶圆放置到承片台上;

所述计数检测机构用于对承片台上的晶圆进行晶圆图像采集、检测和计数;

所述计数检测机构包括硬件系统和软件系统;

所述硬件系统包括工业相机、镜头、承片台、背光源、光源控制器、工业计算机;所述镜头安装在所述工业相机上,所述背光源设置在所述承片台上,用于照亮所述承片台,所述光源控制器用于控制背光源,所述工业计算机分别与所述工业相机和所述光源控制器连接;所述工业计算机中内置有局部图像自动分割算法、边缘校准算法和凸包去除算法对应的算法处理模块;

在局部图像自动分割算法中,LED芯片图像的局部阈值通过如下公式选取:

其中,u(r,c)是灰度均值,σ(r,c)是均方差,参数k用来控制均值对阈值的影响比例,参数R为标准方差最大值;

通过区域形态学方法及腐蚀和膨胀法,对分割过程中形成的一些细小的孔洞利用闭操作进行填充,同时对一些离散的点通过开操作来剔除,从而通过晶粒的面积特征去除不合格的晶粒;

所述软件系统包括相机驱动模块、光源驱动模块、图像处理模块、晶圆MAP图生成模块、晶粒计数模块、晶圆检测模块、晶圆参数数据库模块、参数自优化模块和晶圆标签生成模块;所述晶圆参数数据库模块分别与所述参数自优化模块、所述晶圆标签生成模块、所述晶圆MAP图生成模块、所述晶粒计数模块、所述晶圆检测模块连接,所述图像处理模块分别与所述晶圆MAP图生成模块、所述晶粒计数模块、所述晶圆检测模块、所述相机驱动模块、所述光源驱动模块连接;

所述相机驱动模块用于实现所述工业相机与所述工业计算机之间的通讯,将图像数据存入所述工业计算机的内存;所述光源驱动模块用于调整所述背光源的亮度,通过评价图像亮度函数计算出控制量反馈给所述光源控制器,对所述背光源进行闭环控制;所述图像处理模块用于负责低层图像处理;所述晶圆MAP图生成模块用于计算晶粒的坐标位置;所述晶圆检测模块用于检测晶圆的空洞;所述晶粒计数模块用于统计晶粒的数量;所述晶圆参数数据库模块用于存储晶圆参数数据;所述参数自优化模块用于对所述晶圆参数数据库模块的参数进行自动优化;所述晶圆标签生成模块用于根据晶圆参数数据生成标签;

所述打印贴标机构用于在计数检测结束后生成标签信息,将标签信息打印并粘贴至预定的晶圆位置;

所述晶圆片卸载机构用于将检测完成的晶圆搬离所述承片台。

2.根据权利要求1所述的LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,所述工业相机采用2700万像素、14帧/秒、3/2英寸霸面的工业相机。

3.根据权利要求1所述的LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,所述镜头采用线扫镜头。

4.根据权利要求1所述的LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,所述光源控制器通过闭环局部调节背光源的亮度。

5.根据权利要求1所述的LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,所述拾片机构采用带有真空吸盘的拖拽式拾片机械手。

6.根据权利要求1所述的LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,所述打印贴标机构集成有标准打印贴标设备。

7.根据权利要求1至6任一所述的LED图像全自动计数统计系统,其特征在于,所述LED图像全自动计数统计系统还包括扩展的软件功能模块,所述软件功能模块至少包括用户管理模块、图像识别模块、动加载参数模块、保存打印模块、接入MES系统模块、电测机联机功能模块、用户异常处理模块、条码扫描功能模块。

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