[发明专利]一种LED图像全自动计数统计系统

说明书

本发明公开了一种LED图像全自动计数统计系统，涉及机器视觉领域，包括拾片机构、计数检测机构、打印贴标机构、晶圆片卸载机构；拾片机构用于将叠放整齐的带离型纸的晶圆放置到承片台上；计数检测机构用于对承片台上的晶圆进行晶圆图像采集、检测和计数；打印贴标机构用于在计数检测结束后生成标签信息，将标签信息打印并粘贴至预定的晶圆位置；晶圆片卸载机构用于将检测完成的晶圆搬离承片台。结合计算机硬件和LED晶圆图像检测系统实现对LED晶圆图像的全自动计数统计，提高识别精确度，降低用户操作复杂度。

技术领域

本发明涉及机器视觉领域，尤其是一种LED图像全自动计数统计系统。

背景技术

目前LED外延片生产过程中，由于生产工艺本身原因，导致LED晶粒存在较多缺陷，比如缺角、划痕、电极污染等，在测试时分选机无法通过电特性对缺陷晶粒进行剔除，只能通过人工经验进行观察筛选来剔除有缺陷的晶粒，从而导致晶粒数量处于未知状态，无法确切统计晶粒的数量。而且晶粒的大小一般在0.17mm至1mm(0.4mm*0.4mm)之间，无法准确通过人工方法进行筛查。目前通常采用机器视觉技术来实现对晶粒的自动计数，统计出有效晶粒数量，也是后续晶粒具体物理参数检测的基础。

计数对象为贴有离型纸的晶圆片，在进行图像采集时，光源亮度设置会影响成像的质量，过亮造成晶粒成像面积过小，不利于识别，过暗造成对比度下降，容易提取过多的噪音。同时，离型纸属于非均匀材质，在背光源照明状况下，其自身表现为非均匀亮度图像，造成图像分割极其困难，晶圆与离型纸之间有气泡，造成气泡区域无法正常聚焦，成像模糊。

发明内容

本发明针对上述问题及技术需求，提出了一种LED图像全自动计数统计系统。

本发明的技术方案如下：

一种LED图像全自动计数统计系统，包括：拾片机构、计数检测机构、打印贴标机构、晶圆片卸载机构；

所述拾片机构用于将叠放整齐的带离型纸的晶圆放置到承片台上；

所述计数检测机构用于对承片台上的晶圆进行晶圆图像采集、检测和计数；

所述打印贴标机构用于在计数检测结束后生成标签信息，将标签信息打印并粘贴至预定的晶圆位置；

所述晶圆片卸载机构用于将检测完成的晶圆搬离所述承片台。

其进一步的技术方案为：所述计数检测机构包括硬件系统和软件系统；

所述硬件系统包括工业相机、镜头、承片台、背光源、光源控制器、工业计算机；所述镜头安装在所述工业相机上，所述背光源设置在所述承片台上，用于照亮所述承片台，所述光源控制器用于控制背光源，所述工业计算机分别与所述工业相机和所述光源控制器连接；所述工业计算机中内置有局部图像自动分割算法、边缘校准算法和凸包去除算法对应的算法处理模块；

所述软件系统包括相机驱动模块、光源驱动模块、图像处理模块、晶圆MAP图生成模块、晶粒计数模块、晶圆检测模块、晶圆参数数据库模块、参数自优化模块和晶圆标签生成模块；所述晶圆参数数据库模块分别与所述参数自优化模块、所述晶圆标签生成模块、所述晶圆MAP图生成模块、所述晶粒计数模块、所述晶圆检测模块连接，所述图像处理模块分别与所述晶圆MAP图生成模块、所述晶粒计数模块、所述晶圆检测模块、所述相机驱动模块、所述光源驱动模块连接；