[发明专利]一种LED晶片自动分选机用硅片工作台在审
| 申请号： | 201910369853.5 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN109985825A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈国强;董月宁;代立民 | 申请（专利权）人： | 山东泓瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/00 | 分类号： | B07C5/00;B25H1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动分选机 滑块 硅片工作台 导轨滑块 台本发明 相对滑动 滑动 硅片 | ||
1. 一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，包括X轴工作台（1），其特征在于：X轴工作台（1）上设置有 X轴导轨（7），X轴导轨（7）设置有可沿X轴导轨（7）滑动的X轴导轨滑块（2）；
还包括Y轴工作台（3），Y轴工作台（3）设置在X轴工作台1的上方，Y轴工作台（3）可与X轴工作台（1）相对滑动，Y轴工作台（3）固定连接有导轨滑块（2），通过X轴导轨滑块（2）将Y轴工作台（3）与X轴工作台（1）连接；
Y轴工作台（3）上设置有 Y轴导轨（5），Y轴导轨（5）紧固在Y轴工作台(3)上，通过导轨滑块(6)将顶端工作台(9)与Y轴工作台(3)连接。
2.如权利要求1所述的一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，其特征在于： X轴工作台（1）安装有第二机械光纤标尺（4’），Y轴工作台（3）安装有第一机械光纤标尺（4）。
3.如权利要求2所述的一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，其特征在于：X轴工作台（1）安装有第二机械光纤标尺（4’），Y轴工作台（3）安装有第一机械光纤标尺（4）上均安装光纤标尺编码器(10)。
4.如权利要求3所述的一种LED晶片自动分选机用硅片工作台，其特征在于：永磁体(11)紧固X轴工作台(1)上， X线圈(8)固定Y轴工作台(3)，永磁体(11)紧固Y轴工作台(3)上，Y线圈(12)固定于顶端工作台(9)上。
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